[实用新型]采用线状平行激光光源与线阵探测器的尺寸测量仪无效
申请号: | 98225931.X | 申请日: | 1998-01-24 |
公开(公告)号: | CN2375947Y | 公开(公告)日: | 2000-04-26 |
发明(设计)人: | 刘文清;张长秀;张玉均;王峰平;曹念文;许克军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 中国科学院合肥专利事务所 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 230031*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 采用 线状 平行 激光 光源 探测器 尺寸 测量仪 | ||
本实用新型涉及激光测量技术。
激光测量尺寸属于非接触测量,这种测量不仅精度高,而且可以对运动物体进行实时测量,因此在工业自动检测和控制方面有极高的实用价值。目前,无论国内还是国外主要都采用激光扫描法生产尺寸测量仪器,其结构见附图2,主要是由激光扫描单元,光电接收单元和信号处理、分析与显示单元组成。这种结构的尺寸测量仪,需要扩束和成像光学系统,其测量精度也主要由扩束和成像光学系统放大倍数和象差(如场曲、色差、象散、畸变)决定;这种尺寸测量仪,要用专门设计的多片组合透镜和非球面透镜,否则扩束和成象光学系统造成的测量误差将超过测量精度的要求。而扩束和成像光学系统不仅造价高,而且大尺寸的扩束和成像系统(直径超过300毫米)加工也很困难,这就是已有激光扫描法生产的尺寸测量仪所无法克服的缺陷。
本实用新型的目的,就是提供一种采用线状平行激光光源与线阵探测器的尺寸测量仪,其制造工艺简单,价格便宜。
下面结合附图,对本实用新型作详细说明。
本实用新型的结构如附图1所示:是由激光扩束单元(9),线阵探测器接收单元(10)和信号处理、分析与显示单元(11)这三个单元组成的。激光扩束单元(9)是由激光器(1)以及在激光束方向放置的扩束小棱镜(2)、扩束大棱镜(3)和保护玻璃窗(4)组成的;线阵探测器接收单元(10)是由与保护玻璃窗(4)在同一水平线上放置的保护玻璃窗(5)、线阵探测器(6)和线阵探测器驱动电路(7)组成的;线阵探测器驱动电路(7)和信号处理、分析与显示单元(11)的电路见附图3:信号调整放大(21)接A/D转换(22),再接数据缓冲器(23),再接随机存取存储器(24);逻辑控制单元(25)接A/D转换(22),还与控制处理器(27)相连;控制处理器(27)还与数据器(29)连接;数据器(29)接计算机(30),还与信号调理放大(21)相连;控制处理器(27)与总线驱动(28)、信号调理放大(21)连接。
本实用新型工作时,将待测量工件(8)放置在保护玻璃窗(4)和(5)之间,开动激光器,激光光束经扩束小角度棱镜(2)和扩束大棱镜(3),将激光束扩成线状平行光源,这些平行光照射到待测量工件(8)上,再经CCD接收单元(10)接收信号,一般用一片线阵CCD芯片就可以达到所需精度的要求,对大尺寸待测工件的测量,采用2片线阵CCD即可。CCD探测器(6)输出的视频信号电平经过信号调理放大(21)变成与A/D转换(22)输入电平相匹配。经信号调理放大(21)的视频信号送入A/D转换(22)为核心构成的高速数据采集系统,变成数字信号存入随机存取存储器(24),再送数据输出口,经过长线传送给计算机(30)进行分析后,显示测量工件的实际尺寸、误差,并给出控制信号和尺寸超差报警。
本实用新型的优点是,扩束光学系统的放大倍数任意可变而且无任何象差;线状平行光源的发散角可达衍射极限,且调整方便,价格便宜(价格仅是透镜扩束光学系统的七分之一),为此,有着极好的应用前景。
附图说明:
图1是本实用新型的结构图;
图2是已有技术激光扫描法尺寸测量仪;
图3是线阵探测器驱动电路和信号处理、分析与显示单元的电路图。
图中:1、激光器;2、扩束小棱镜;3、扩束大棱镜;4、5、保护玻璃窗;6、线阵探测器;7、线阵探测器驱动电路;8、待测工件;9、激光扩束单元;10、线阵探测器接收单元;11、信号处理、分析与显示单元;12、旋转反射镜;13、扩束透镜;14、成象透镜;15、光电探测器;16、激光扫描单元;17、光电接收单元;21、信号调理放大;22、A/D转换;23、数据缓冲器;24、随机存取存储器;25、逻辑控制单元;26、地址产生器;27、控制处理器;28、总线驱动;29、数据器;30、计算机。
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