[实用新型]带有切换窗口的双指示光栅超长位移传感器无效
申请号: | 98233414.1 | 申请日: | 1998-11-26 |
公开(公告)号: | CN2349535Y | 公开(公告)日: | 1999-11-17 |
发明(设计)人: | 齐永武;陈守忠;李松泽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人: | 刘树清 |
地址: | 130022 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 带有 切换 窗口 指示 光栅 超长 位移 传感器 | ||
1、带有切换窗口的双指示光栅超长位移传感器,是由接长尺、指示光栅、光电信号转换器组成的,其特征在于多段超长尺4是由相接端头不需进行精密光学加工的,在两相接端头侧面用金属片贴在一起的多段尺制成的,并且在多段超长尺4上一边刻制有透光和不透光相间分布的信号转换区;带有切换窗口的双指示光栅5是在一块玻璃基板上沿测量方向刻制两组四裂项指示光栅,在该两组指示光栅中间偏下位置刻制一个切换窗口6;带有切换窗口的双指示光栅5,以很小的间隙叠合在多段超长尺4上,两者之间通过机械结构移动,安装时使切换窗口6对准透光和不透光相间分布的信号转换区;带有切换窗口的双指示光栅5的长度,要小于多段超长尺4上的信号转换区的透光区的长度,带有切换窗口的双指示光栅5与多段超长尺4叠合有相对移动时,产生的莫尔条纹信号,由双路光电信号转换器7和判别电路8进行控制处理。
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