[实用新型]扩展式鉴相型容栅传感器

说明书

本实用新型属鉴相型容栅传感器(以下简称传感器)。特别是直线位移的传感器。

鉴相型容栅传感器广泛运用在电子数显量具，诸如电子数显卡尺、电子数显表及电子数显千分尺等产品上。其工作原理是通过主、副栅间的相对运动来采集位移信号，经大规模集成电路进行数据处理后输出数字信号，从而获得主、副栅之间的相对运动距离。

传统的反射式传感器其副栅(2)的发射栅极板(1)均是连续排列的(附图1)，八路驱动信号从副栅(2)的背面通过金属化孔传到发射栅极板(1)上，这种导电方式极适用于大节距的传感器，但对于小节距的传感器，由于难于排列众多的导电孔，只能用跳线方式或多层布线方式等较为复杂的工艺方法来导电。

本实用新型的目的是要提供一种扩展式的传感器，它可以在小节距的传感器上采用较简单的金属化孔的方式导电，从而提高工效，降低生产成本，并解决了由于跳线凸块而无法在电子数显卡尺上应用小节距传感器的难题。

下面借助附图2对本实用新型的实施方案作进一步的详述。

图2是扩展式传感器工作状态的示意图。本实用新型的实质是将连续排列的发射极板扩展为按组分列，其特点在于：

1)各组发射极板(3)之间的组间间距等于主栅的一个节距或

  是主栅节距的整数倍。

2)各发射极板(3)在偶合区域外按一定规律扩散并与相应的

  导电孔相连。

3)各组发射极板(3)之间采取屏蔽措施，屏蔽极板(4)与

  发射极板(3)之间的间距a等于相邻发射极板(3)之间

  的间距b。

4)本实用新型的主要运动方式是直线运动方式，但也可

  以扩展应用于回转运动方式。

5)本实用新型主要适用于各类电子数显量具和量仪，也可以

  用于一些需要测量或控制相对直线位移或相对角位移的装

  置或产品。

本实用新型的优点在于：

1)可以将制作成本较低的金属化孔导电方式代替成本较高的

  跳线导电方式或多层布线导电方式用于节距较小的传感器

  上。

2)因为取代了跳线凸块，因而可以在电子数显卡尺上采用小

  节距传感器，从而提高电子数显卡尺的示值准确度。