[发明专利]用于半导体制造的石英玻璃构件有效
| 申请号： | 98800389.9 | 申请日： | 1998-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1150346C | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | D·赫尔曼;G·勒布伦;J·贝克尔 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃有限公司;赫罗伊斯石英有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;C03C15/00;C03C17/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢新华;温宏艳 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 制造 石英玻璃 构件 | ||
【说明书】：
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