[发明专利]用于抗反射或吸收辐射涂层的组合物及用于该组合物的化合物无效
申请号: | 98800696.0 | 申请日: | 1998-05-21 |
公开(公告)号: | CN1226978A | 公开(公告)日: | 1999-08-25 |
发明(设计)人: | 穆尼拉斯纳·帕德马纳班;康文兵;田中初幸;木村健;格奥尔格·帕夫洛夫斯基 | 申请(专利权)人: | 克拉瑞特国际有限公司 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;C08F20/34;C08F20/38;C08F20/10;C08F22/04;C08F22/40;H01L21/027 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 程伟 |
地址: | 瑞士穆*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 反射 吸收 辐射 涂层 组合 化合物 | ||
1.一种用于抗反射或吸收辐射涂层的组合物,所述组合物含有下列通式Ⅰ表示的一种单体染料和/或通式Ⅱ表示的一种聚合物,
通式Ⅰ:
通式Ⅱ:
其中:
R为一个氢原子或一个烷基;R1为一个亚烷基、一个取代的亚烷基、一个环亚烷基、一个取代的环亚烷基、一个亚苯基或一个取代的亚苯基;R2为一个苯基、-COOH、一个卤原子、一个氰基、一个烷氧基或-COOR6,其中R6为一个取代的或未取代的烷基或芳基或一个乙酰乙酸乙酯基团;R3为-COOD;D是一个能吸收曝光波长为100~450nm有机生色团,并且表示一个取代或未取代的苯环、稠环、或直接键合或通过一个亚烷基键合的杂环;X为氧或硫,Y为氧或NR4基,其中R4为一个氢原子,或为一个取代或未取代的苯基,或为环状的、直链的、或支链的烷基;Z为氧、ND基或NR5基,其中R5为一个氢原子,或为一个取代或未取代的苯基,或环状的、直链的、或支链的烷基;n、p和q为包括零的简单整数,m和o也为包括零的简单整数,并且它们中至少有一个是大于零。
2.根据权利要求1所述的一种用于抗反射或吸收辐射涂层的组合物,其中通式Ⅱ所表示的聚合物为下列通式Ⅱ’所表示的聚合物,
通式Ⅱ’:
其中:
R8为一个氢原子或一个甲基,R2为一个苯基、-COOH、一个卤原子、一个氰基、一个烷氧基或-COOR6,其中R6为一个取代或未取代的烷基或芳基或一个乙酰乙酸乙酯基团;R3为-COOD;D为能吸收曝光波长(100~450nm)的有机生色团,并表示一个取代或未取代的苯环、稠环、直接键合或通过一个亚烷基键合的杂环;Z是氧、ND基或NR5基,其中R5为一个氢原子或为一个取代或未取代的苯基或环状的、直链的、或支链的烷基;m、n、o、p和q为包括零的简单整数,m和o至少有一个为大于零的整数,并且m、n、o、p和q总和位于5~50,000之间。
3.根据权利要求1所述的一种用于抗反射或吸收辐射涂层的组合物,其中通式Ⅱ所表示的聚合物为下列通式Ⅱ’所表示的聚合物,
通式Ⅱ”:
其中:
R8为一个氢原子或一个甲基;R2为一个苯基、-COOH、一个卤原子、一个氰基、一个烷氧基或-COOR6,其中R6为一个取代或未取代的烷基或芳基或一个乙酰乙酸乙酯基团;R3为-COOD,D是一个能吸收曝光波长(100~450nm)的有机生色团,并表示一个取代或未取代的苯环、稠环或直接键合或通过一个亚烷基键合的杂环;R4为一个氢原子或一个取代或未取代的苯基或环状的、直链的或支链的炕基;Z为氧、ND基或NR5基,其中R5为一个氢原子或为一个取代或未取代的苯基或环状的、直链的或支链的烷基;并且m、n、o、p和q为不包括零的简单整数,m和o至少有一个大于零,且m、n、o、p和q总和位于5~50,000之间。
4.根据权利要求2或3所述的一种用于抗反射或吸收辐射涂层的组合物,其中D为选自下列基团的一个基团:苯基、取代的苯基、苄基、取代的苄基、萘、取代的萘、蒽、取代的蒽、蒽醌、取代的蒽醌、吖啶、取代的吖啶、偶氮苯、取代的偶氮苯、荧光胺、取代的荧光胺、荧光酮、取代的荧光酮、咔唑、取代的咔唑、N-烷基咔唑、二苯芘呋喃、取代的二苯芘呋喃、菲、取代的菲、芘、取代的芘;这种D的取代基至少为一种选自下列的基团:烷基、芳基、卤素、烷氧基、硝基、醛基、氰基、酰胺、二烷基氨基、氨磺酰基、酰亚胺、羧酸、羧酸酯、磺酸、磺酸酯、烷基氨基、芳基氨基。
5.根据权利要求2或3所述的用于一种抗反射或吸收辐射涂层的组合物,其中m、n、p和q为零,o位于5~50,000之间。
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