[发明专利]用于电镀或电蚀设备的脉冲供电的电路装置及方法

权利要求书

1．用于对垂直或水平电镀或电蚀设备中的一个或多个并联的具有阳极和阴极的电解槽提供脉冲电流的电路装置，其中为了对每个电解槽供电：

a．设有至少一个电镀整流器，及

b．至少一个转换开关，它可从至少两个输入端连接到至少一个输出端，或设有一个双位开关，

c．其中设有第一线路，用于直接地分别将整流器的一个端子与电解槽的一个端子相连接，及

d．第二线路，用于直接地分别将整流器的另一输出端与转换开关输入端或双位开关的一个端子相连接，及其中还有，

e．至少一个转换开关的一个输出端或各个输出端或双位开关的另一端子与电解槽的另一端子直接地连接，其特征在于：

在第一线路(33)及每第二线路(34,35)之间至少接有一个电容器(20,21)。

2．根据权利要求1的电路装置，其特征在于：无论转换开关及双位开关(12)还是电容器(20,21)在空间上接近电解槽地布置，以使得与电解槽及转换和双位开关相连接的电导体的电感(13)减至最小。

3．根据以上权利要求中任一项的电路装置，其特征在于：设有两个整流器(5,32)，借助它们可公共地对多个并联的电解槽供给电流，其中多个电流回路具有对电解槽供电的公共电容器(20或21)。

4．根据以上权利要求中任一项的电路装置，其特征在于：为了产生脉冲列，设有电子开关(23,24)作为转换开关或双位开关。

5．根据以上权利要求中任一项的电路装置，其特征在于：转换开关或双位开关(23,24)各设有一个电流传感器(31)，它的测量值用于保护开关的过电流开断。

6．根据权利要求5的电路装置，其特征在于：设有用于监测及调节电镀和电蚀设备的上级控制装置(22)，每个电流传感器(31)的测量信号将传送到该控制装置。

7．根据以上权利要求中任一项的电路装置，其特征在于：转换开关及双位开关(23,24)这样地构成，即它们可借助电控制信号进行触发。

8．根据以上权利要求中任一项的电路装置，其特征在于：对于转换开关及双位开关(23,24)并联了二极管(25,26)，及它们的极性为：在开关打开时形成的能量被电容器(20,21)所吸收不会损坏开关。

9．用于对垂直或水平电镀或电蚀设备中的一个或多个并联的具有阳极及阴极的电解槽供给脉冲电流的供电方法，该设备具有一个电路装置，该电路装置具有：

a．至少二个电镀整流器，及

b．至少一个转换开关，它可从至少两个输入端连接到至少一个输出端，其中为了对每个电解槽供电设有，

c．第一线路，用于直接地分别将整流器的一个端子与电解槽的一个端子相连接，及

d．第二线路，用于直接地分别将整流器的另一输出端与转换开关输入端相连接，及其中还有，

e．至少一个转换开关的一个输出端与电解槽的另一端子直接地连接，及

f．在第一线路及第二线路之间至少接有一个电容器，该方法具有以下步骤：

A．在时间间隔t₁中：

a．借助一个第一整流器经过一个第二线路及至少一个转换开关与电解槽连接而对电解槽供电及

b．一个或多个电容器同时部分放电，这些电容器通过一个第二线路与所述第一整流器相连接；

c．通过其余的第二线路与其他整流器相连接的电容器被充电；

B．在时间间隔t₂中：

d．借助一个第二整流器经过一个第二线路及至少一个转换开关与电解槽连接而对电解槽供电及

e．至少一个电容器同时部分放电，它通过另一第二线路与所述第二整流器相连接；

f．通过其余第二线路与其他整流器相连接的电容器被充电。