[发明专利]用于溅射设备的电源装置

权利要求书

1.一种用于溅射设备的电源装置，在接地的真空槽内导入惰性气体，在该真空槽内配置的溅射源上施加负电压，进行溅射，其特征在于，该溅射设备的电源装置包括：

直流电源，向上述溅射源施加直流电压；

反向电压发生装置，为停止所述溅射中产生的电弧放电的发生，向所述溅射源施加反向电压；

开关装置，将由所述反向电压发生装置产生的反向电压施加给所述溅射源；

电弧放电检测装置，检测所述真空槽内的电弧放电的发生；

反向电压施加装置，在用该电弧放电检测装置检测出电弧放电发生的情况下，使所述开关装置按设定时间接通，将从所述反向电压发生装置产生的反向电压施加给所述溅射源；以及

反向电压施加控制装置，在用所述电弧放电检测装置检测出所述电弧放电发生的情况下，将由所述反向电压发生装置产生的反向电压按设定时间施加给所述溅射源，在该施加结束后，在用所述电弧放电检测装置再次检测电弧放电发生的情况下，在1～10μs以内将由所述反向电压发生装置产生的反向电压施加给所述溅射源。

2.如权利要求1所述的溅射设备的电源装置，其特征在于，在所述反向电压发生装置与所述溅射源之间，设有连接在溅射放电电流流动方向上的正方向阻抗，和

反方向电弧放电防止电路，该电路由比该正方向阻抗大并且并联连接的防止反方向电弧放电发生的反向阻抗构成。

3.如权利要求2所述的溅射设备的电源装置，其特征在于，在所述反方向电弧放电防止电路中，正方向阻抗由二极管构成，而反方向阻抗由电阻构成。

4.如权利要求2所述的溅射设备的电源装置，其特征在于，在所述反方向电弧放电防止电路的溅射源侧和所述直流电源的正极侧之间，连接有使电流从二极管的阳极侧向所述直流电源的正极侧流动的第二二极管，和与该第二二极管串联连接的电阻。

5.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的溅射设备的电源装置，其特征在于，所述反向电压发生装置是在初级侧连接所述直流电源，而将次级侧连接到所述溅射源的脉冲变压器，该脉冲变压器的初级侧与次级侧的匝数比为1∶1.1～1∶1.3。

6.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的溅射设备的电源装置，其特征在于，所述反向电压发生装置是在初级侧连接所述直流电源，而将次级侧连接到所述溅射源的脉冲变压器，该脉冲变压器的初级侧与次级侧的匝数比为1∶1.1～1∶1.3。

7.如权利要求2至权利要求6中任一项所述的溅射设备的电源装置，其特征在于，利用所述反方向电弧放电防止电路，在所述真空槽内消除两个脉冲以上的连续电弧放电发生，同时利用将作为所述反向电压发生装置的变压器的电压和时间积分为四个脉冲以上，使所述变压器不产生磁饱和。