[发明专利]用于光刻胶组合物的抗反射涂料组合物及光刻胶成像方法有效
| 申请号： | 98804589.3 | 申请日： | 1998-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1159627C | 公开（公告）日： | 2004-07-28 |
| 发明（设计）人： | 丁术季;卢炳宏;D·N·科汉纳;单鏗会;D·L·杜尔哈德;R·R·旦莫尔;M·D·拉赫曼 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C08F8/30;G03F7/11 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 组合 反射 涂料 成像 方法 | ||
【权利要求书】：
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