[发明专利]基片干燥装置无效
| 申请号： | 98805367.5 | 申请日： | 1998-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN1143290C | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | K·维伯尔;U·施贝尔 | 申请（专利权）人： | 施蒂格哈马技术股份公司 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;F26B15/04;F26B3/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平;章社杲 |
| 地址： | 联邦德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 | ||
【说明书】：
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