[发明专利]光电子半导体元件无效
申请号: | 98805870.7 | 申请日: | 1998-05-22 |
公开(公告)号: | CN1259237A | 公开(公告)日: | 2000-07-05 |
发明(设计)人: | F·菲舍尔;G·罗伊舍;T·利茨;G·兰德韦尔 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01S5/183 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 马铁良,张志醒 |
地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电子 半导体 元件 | ||
1.光电子元件,具有至少一个适于产生电磁辐射(22)的半导体本体(24),
其中在半导体衬底(12)上设置至少一有源区(1),
在该有源区内当电流通过半导体本体(24)时产生电磁辐射(22)和
该有源区设置在至少一个第一镜面层(2)和至少一个第二镜面层(3)之间,
其特征在于,
第一镜面层(2)和第二镜面层(3)具有第一导电类型的半导体材料,并且在有源区(1)与两个镜面层(2、3)之一之间设置至少一个第一导电类型的第一高掺杂过渡层(11)和至少一个第二导电类型的第二高掺杂过渡层(10),并且是如此设置的,使得第二高掺杂简并过渡层(10)位于有源区(1)和第一高掺杂简并过渡层(11)之间。
2.按权利要求1的光电子元件
其特征在于,
第一高掺杂过渡层(11)和第二高掺杂过渡层(10)具有简并的半导体材料。
3.按权利要求2的光电子元件,
其特征在于,
第一高掺杂过渡层(11)和第二高掺杂过渡层(10)中的掺杂材料浓度为>1×1017cm-3。
4.按权利要求1至3之一的光电子元件,
其特征在于,
第一镜面层(2)和第二镜面层(3)构成为布拉格反射器层。
5.按权利要求1至4之一的光电子元件,
其特征在于,
镜面层(2、3)是n型导电或p型导电掺杂的。
6.按权利要求1至5之一的光电子元件,
其特征在于,
一个由第一高掺杂过渡层(11)和第二高掺杂过渡层(10)构成的pn结是如此设置的,使得该pn结在元件工作时是反向偏置的。
7.按权利要求1至6之一的光电子元件,
其特征在于,
两个镜面层(2、3)之一具有比另一镜面层较低的反射率,并且给具有较低反射率的镜面层(2、3)配置一至少让一部分电磁辐射(22)通过的接触层(20、21),并且是如此配置的,使得电磁辐射(22)主要通过具有较低反射率的镜面层(2、3),并且是可通过接触层(20、21)耦合出的。
8.按权利要求1至7之一的光电子元件,
其特征在于,
辐射(22)在半导体本体(24)的与衬底(12)相对的一侧通过一透明的或设置出口(23)的接触(20)耦合出。
9.按权利要求1至7之一的光电子元件,
其特征在于,
辐射(22)通过一透明的衬底(12)和一透明的或设置出口(23)的接触(21)或通过衬底(12)中的一凹槽(23)由半导体本体(24)耦合出。
10.按权利要求1至9之一的光电子元件,
其特征在于,
在半导体本体制造过程中至少单片地制备镜面层(2、3)的其中之一。
11.按权利要求1至9之一的光电子元件,
其特征在于,
在制造半导体本体(24)之后,用混合技术制备至少镜面层(2、3)其中之一。
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