[发明专利]集成光吸收器无效

专利信息
申请号: 98805886.3 申请日: 1998-06-03
公开(公告)号: CN1261440A 公开(公告)日: 2000-07-26
发明(设计)人: C·P·巴雷特;S·M·巴克斯特 申请(专利权)人: 布克哈姆技术有限公司
主分类号: G02B6/24 分类号: G02B6/24;G02B6/12
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 王忠忠
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 集成 光吸收
【权利要求书】:

1.一种包含集成在光学芯片中之光腔的集成光吸收器,所述光腔由基本上平行于芯片放置的上壁和下壁以及在它们之间延伸的外壁所限定,并在外壁上有一个用来接收拟被吸收之光的光输入端,至少一些所述的壁具有光吸收特性,将所述光腔设置成使通过光输入端口进入光腔的大部分光经过多重反射,使之被限定在所述腔中并被腔的壁所吸收。

2.一种如权利要求1的集成光吸收器,其特征在于所述外壁被设置成减少那种被反射之前只有少量光回到输入端口的光量。

3.一种如权利要求2所述的集成光吸收器,其特征在于所述光腔基本上呈圆形或多边的多角形。

4.一种如权利要求3所述的集成光吸收器,其特征在于所述光腔基本上呈多向星的形状。

5.一种如权利要求4所述的集成光吸收器,其特征在于组成星形的外壁基本上在一个平面上。

6.一种如权利要求4所述的集成光吸收器,其特征在于组成星形的外壁是弯曲的,最好基本为抛物线的截面。

7.一种如权利要求4、5或6所述的集成光吸收器,其特征在于星形至少有六个尖点,最好为至少十一个尖点。

8.一种如权利要求4-7任一项所述的集成光吸收器,其特征在于在星形的每个尖点内设置指向光腔中心区域或光输入端口的尖峰。

9.一种如前述任一项权利要求所述的集成光吸收器,其特征在于所述尖峰设在位于正对光输入端的光腔壁上,以减少从此处直接回到输入端口的反射。

10.一种如前述任一项权利要求所述的集成光吸收器,其特征在于光腔的外壁包含一系列较大的不规则形状,它们之间有较小的不规则形状,在较小不规则形状之间还以更细碎的形式提供更小的不规则形状。

11.一种如前述任一项权利要求所述的集成光吸收器,其特征在于通过除去其上形成有光腔的基底周围区域限定所述光腔。

12.一种如权利要求11所述的集成光吸收器,其特征在于包含在同样基底中形成的肋形波导,用于使将要被吸收的光传输到光腔的光输入端口。

13.一种如权利要求11或12所述的集成光吸收器,其特征在于它形成在一个硅层中。

14.一种如权利要求13所述的集成光吸收器,其特征在于它形成在一个硅绝缘体芯片上。

15.一种如权利要求11-14中任一项所述的集成光吸收器,其特征在于使所述光腔被光吸收材料覆盖。

16.一种如权利要求15所述的集成光吸收器,其特征在于光吸收材料包括一种金属涂层,首选为铝。

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