[发明专利]封闭容器的密封性检查方法、检查舱、检查装置和为此的检查设备

权利要求书

1.关闭的容器的密封性检查方法，容器至少部分地用液体填充物填充，其中在容器内腔(I)和容器环境(U)之间产生一个与后者相反方向的压差(Δp)，其特征为，在容器外壁范围内在容器环境(U)和/或沿着其外壁安排一个电阻抗测量(Z_x，R_x)，并且以此从密封的容器中选择不密封的容器。

2.按照权利要求1的方法，其特征为，作为阻抗测量进行一个DC-，特别是低压-DC-电阻测量(R_x)。

3.按照权利要求1或2之一的方法，其特征为，将多个阻抗测量段(Z₁，Z₂，...)并联在一起。

4.按照权利要求1至3之一的方法，其特征为，在封闭的容器环境中通过设置预先规定的低压产生压差(Δp)，然后被封闭的容器环境与容器(1)关于压力发展方面互不相关，并且附加在阻抗测量(Z_x)中从压差(Δpu)的时间变化曲线中从密封的容器中选择出不密封的容器。

5.按照权利要求4的方法，其特征为，在设置可预先规定的低压以后，和将附加在环境压力的压力释放作为泄漏指示器，此时最好，如果在至少两个时间点测量环境压力(pu)，并且将从中求得的压差(Δpu)处理成为密封性-指示器，优选是，在第一个时间点和在从属的压力中确定一个零参考(127)，并且将对应于第二个时间点的压力值的处理信号以第一个时间点信号为基础，并且使用用于选择的零-修正。

6.按照权利要求5的方法，其特征为，对于测定压差和阻抗差是使用同样的过程(197)。

7.对具有液体填充物的封闭容器进行密封性检查的检查舱，其检查舱是真空密封可封闭的，其特征为，在检查舱内至少安排具有至少一对相隔一定距离的电极(3a，3b)的一个阻抗-测量段。

8.按照权利要求7的检查舱，其特征为，在检查舱内安排了很多数量的、分布的，优选为串联(5a，5b)的电极对。

9.按照权利要求7或8之一的检查舱，其特征为，舱内壁是由导电的电极段(34)的图形构成的，而这些电极段是由相互隔开的绝缘的段(32)构成的。

10.按照权利要求7至9之一的检查舱，其特征为，在检查舱上至少安排有一个压力传感器(15)。

11.按照权利要求7至10之一的检查舱，其特征为，至少有一个清洁气体接头(36)接入舱内。

12.按照权利要求7至11之一的具有至少一个检查舱的检查装置，其特征为，至少有一对电极(3a，3b)是与一个阻抗测量单元(7)起作用连接的。

13.按照权利要求12的检查装置，其特征为，阻抗测量单元是一个DC-电阻测量单元(7′)，特别是一个低压-电阻测量单元。

14.按照权利要求7至13之一的检查装置，其特征为，密封/不密封的选择是借助于在处理单元上的一个阈值-敏感的单元进行的。

15.按照权利要求12或13之一的具有含有多个电极对(3a，3b)的至少一个检查舱的检查装置，其特征为，电极对(5a，5b)是与阻抗-测量单元(7，7′)的输入并联地起作用连接的。

16.按照权利要求12至15之一的检查装置，其特征为，阻抗-测量单元(7，7′)的输出端包括一个阈值-敏感的单元(9，9′)。

17.按照权利要求12至16之一的检查装置，其中在检查舱中安排有一个压力传感器(13)，其特征为，压力传感器的输出是与一个处理单元(19)起作用地连接在一起的，处理单元优选在第一个时间点记录传感器-输出信号，同样在随后的第二个时间点和将被记录的压力传感器-输出信号引导到一个差分单元(123，125)中，其输出作用在一个阈值-敏感的单元上。

18.按照权利要求17的检查装置，其特征为，将第一个时间点记录的传感器输出信号输入给差分单元(123)的两个输入端，并且将零差分信号构成为差分单元的输出信号，并且将其存储。