[发明专利]经表面显微机械加工的声波压电晶体

权利要求书

1.一种声波压电器件，包括：

一种压电基片，具有由其上表面和下表面所确定的厚度；

与压电基片上表面集成在一起的若干凸脊，在它们之间有间隔，所述凸脊具有在该基片的上表面的一个基底，还具有一个顶，该基底和顶确定脊的高度；

若干顶部电极，这些电极沉积在所述凸脊的相应的顶上；以及

若干底部电极，这些电极沉积在凸脊之间的间隔之内的压电衬底的上表面上，该顶部和底部电极实际上不相对，

若干电极，当受到电激励时，能驱动脊振动，这样就产生了声波，并使该声波能直接垂直进入所述压电基片。

2.如权利要求1的压电器件，其特征在于所述凸脊实际上是彼此平行的，且这些凸脊之间的间隔也是周期性出现的。

3.如权利要求1的所述压电器件，其特征在于当电极受到电激励时，就在顶部和底部电极之间产生了一个垂直的电场，该电场与基片的上表面垂直，并能导致产生声波的压电应变。

4.如权利要求1的所述压电器件，其特征在于多个所述顶部电极通常都是连接在一起的，多个所述底部电极通常也是连在一起的，这样，当这些电极受到AC信号的驱动时，凸脊能以实际上是同相的模式振动。

5.如权利要求4的所述压电器件，其特征在于在同相模式中产生位于基片内的体驻波。

6.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于所述顶部电极交替与第一和第二连接电路(connection)连接，这样，当第一和第二连接电路受到AC信号驱动时，所述凸脊就在基本反相模式下振动。

7.如权利要求6的所述压电器件，其特征在底部电极被电连接在一种结构中，该结构是从一组由浮置的并共同与地连接的结构中选出的。

8.如权利要求1的所述压电器件，其特征在于压电基片是由石英构成的，且当受到AC信号的驱动时，凸脊会被驱动在与挠曲模式相耦合的厚度切变模式中。

9.如权利要求1的压电谐振器，其特征在于单个的凸脊被电连接在一个梯形网络中，以便形成一个滤波器。

10.如权利要求1的压电谐振器，其特征在于多个单独的凸脊具有不同的谐振频率，并电并联在一起，以形成一个滤波器。