[发明专利]薄膜驱动反射镜阵列

权利要求书

1.一种薄膜驱动反射镜阵列，由第一信号和第二信号驱动，所说薄膜驱动反射镜阵列包括：

有源矩阵，所说有源矩阵具有基片和第一金属层，基片包括安装于其中用于开关操作的金属氧化物半导体晶体管，第一金属层具有从用于传输第一信号的金属氧化物半导体晶体管的漏延伸的漏焊盘；

支撑部件，所说支撑部件具有形成于所说有源矩阵之上的支撑线、与所说支撑线形成一体的支撑层和分别形成于所说有源矩阵和与支撑线相邻的所说支撑层的各部分之间的多个固定器；

致动器具有i)接收第一信号的下电极，所说下电极形成于所说支撑层上，ii)接收第二信号并产生第一电场的第一上电极，所说第一上电极对应于所说下电极的第一部分，iii)接收第二信号并产生第二电场的第二上电极，所说第二上电极对应于所说下电极的第二部分，iV)形成于所说下电极的第一部分和所说第一上电极之间并在第一电场作用下变形的第一有源层，及V)形成于所说下电极的第二部分和所说第二上电极之间并在第二场作用下变形的第二有源层；及

反射光的反射装置，所说反射装置形成于所说致动器之上。

2.根据权利要求1的薄膜驱动反射镜阵列，其中所说下电极在所说支撑线附近为反U形，所说第一有源层为矩形板形状，所说第二有源层为平行于所说第一有源层的矩形板形状，所说第一上电极具有小于所说第一有源层的矩形板形状，所说第二上电极具有小于所说第二有源层的矩形板形状。

3.根据权利要求1的薄膜驱动反射镜阵列，其中如果所说下电极的长度是L，则所说下电极的第一部分两端分别比所说第一有源层的两端长0.01L-0.02L的边缘差，所说下电极的第二部分的两端分别比所说第二有源层的两端长0.01L-0.02L的边缘差。

4.根据权利要求3的薄膜驱动反射镜阵列，其中所说第一有源层的尺寸等于所说第一上电极，所说第二有源层的尺寸等于所说第二上电极。

5.根据权利要求3的薄膜驱动反射镜阵列，其中如果所说第一和第二上电极的厚度分别为t，则所说第一和第二有源层的厚度分别为约6.0-8.0t，所说下电极厚约2.5-5.5t。

6.根据权利要求1的薄膜驱动反射镜阵列，其中如果所说下电极的长度是L，则所说下电极的第一部分两端分别比所说第一有源层的两端长0.01L-0.02L的边缘差，所说下电极的第二部分的两端分别比所说第二有源层的两端长0.01L-0.02L的边缘差，所说第一有源层的两端分别比所说第一上电极长0.01L-0.02L的边缘差，所说第二有源层分别比所说第二上电极长0.01L-0.02L的边缘差。

7.根据权利要求6的薄膜驱动反射镜阵列，其中如果所说第一和第二上电极的厚度分别为t，则所说第一和第二有源层的厚度分别为约6.0-8.0t，所说下电极厚约2.0-5.5t。

8.根据权利要求1的薄膜驱动反射镜阵列，其中如果所说下电极长度是L，则所说第一和第二有源层的长度分别是L，所说第一有源层的两端分别比所说第一上电极的两端长0.01L-0.02L的边缘差，所说第二有源层的两端分别比所说第二上电极的两端长0.01L-0.02L的边缘差。

9.根据权利要求8的薄膜驱动反射镜阵列，其中如果所说第一和第二上电极的厚度分别为t，则所说第一和第二有源层的厚度分别为约6.0-8.0t，所说下电极厚约2.5-6.0t。

10.根据权利要求1的薄膜驱动反射镜阵列，其中如果所说下电极长度是L，则所说第一和第二有源层的长度分别是L，所说第一和第二有源层的长度分别为L。

11.根据权利要求10的薄膜驱动反射镜阵列，其中如果所说第一和第二上电极的厚度分别为t，则所说第一和第二有源层的厚度分别为约6.0-8.0t，所说下电极厚约3.0-6.0t。