[发明专利]微滴沉积装置及它的制造方法有效
| 申请号： | 98809964.0 | 申请日： | 1998-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN1146501C | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | R·A·哈维;G·隆巴尔迪;S·奥默;S·特姆普勒 | 申请（专利权）人： | 萨尔技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军;林长安 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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