[发明专利]用于静电力显微镜的带悬臂梁静电力检测器及其检测方法无效
申请号: | 98812846.2 | 申请日: | 1998-10-30 |
公开(公告)号: | CN1138980C | 公开(公告)日: | 2004-02-18 |
发明(设计)人: | 伊藤彰义;中川活二;谷掌;上原利夫;B·T·威廉姆斯 | 申请(专利权)人: | 特瑞克股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/60 | 分类号: | G01N27/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 李湘 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 静电力 显微镜 悬臂梁 检测器 及其 检测 方法 | ||
【说明书】:
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