[发明专利]具有熔体掺杂功能的晶体生长装置

权利要求书

1.一种掺杂晶体的生长方法，包括：使籽晶降落到源材料的熔体中；当降落籽晶时，将掺杂剂填充料从掺杂剂源输送到熔体中；和升起籽晶，用于生长掺杂的晶体。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：当籽晶降落时，随着籽晶的降落，将掺杂剂填充料从掺杂剂源直接输送到熔体上方。

3.用于生产晶体的晶体生长装置，包括：生长室，室内有一个坩埚，用于生产晶体的源材料在该坩埚中熔化；提拉室，它在生长室上方，用于从坩埚内的熔体中提拉晶体；拉晶工具，它具有一个上端和一个下端，可在提拉室中的升起位置和向下延伸到生长室中的降落位置之间上下活动；上述拉晶工具在其下端处具有一籽晶夹持器，用于夹持降落到熔体中的籽晶；和用于升降上述拉晶工具的装置，同时籽晶由其夹持；其特征在于，还有：

一个料斗，用于装流体形式的掺杂剂，供将掺杂剂填充料向下输送到坩埚内的熔体中；上述料斗具有一个卸料口和一个用于该卸料口的封闭件，该封闭件通常占据一个堵住上述卸料口的闭合位置，用于将掺杂剂保持在料斗中，而当降落上述带有籽晶的提拉工具，用于将籽晶降落到熔体中，以便进行将掺杂剂向下输送到熔体中时，该封闭件就打开。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于：料斗由上述提拉工具携带，用于与该提拉工具一起上下移动，并且用于相对于该提拉工具上下移动，上述封闭件与提拉工具一起活动，并且在拉晶工具相对于料斗向下移动时，该封闭件活动到打开位置。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于：上述拉晶工具包括一个杆件，该杆件在其下端处具有籽晶夹持器，上述升降装置附接到杆件的上端，上述封闭件包括一个阀，用于闭合料斗的卸料口，上述阀与杆件一起上下活动，上述料斗具有一个底部，底部中有上述卸料口，并且在其底部处座落在围绕卸料口的阀上，用于闭合该卸料口，上述装置具有制动装置，用于使料斗保持抵抗向下移动，而杆件继续其向下移动，并且阀与杆件一起向下移动到用于输送掺杂剂的打开位置，上述制动装置从一离开料斗的内缩位置活动到料斗行程中的制动位置。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于：料斗包括一个围绕杆件的壁，当闭合一个室用于装掺杂剂填充料时，该壁由杆件与料斗的底部和阀一起形成；并且料斗具有一伸出部分，该伸出部分由料斗径向向外延伸，用于与上述制动装置接合。

7.如权利要求6所述的装置，具有一管状延伸部分，它从围绕杆件的底部向下延伸，上述管状延伸部分具有一放大的下端，该放大的下端在轴的下端处围绕籽晶夹持器。

8.如权利要求4所述的装置，其特征在于：卸料口其中具有一面朝下的下面环状表面，并且将上述阀加工成一定形状，以便起一个可与上述面朝下的表面接合的塞子作用。

9.如权利要求4所述的装置，具有分离阀座和分离阀，该分离阀从一个内缩位置活动离开向上提拉到提拉室中的晶体，而一个紧贴分离阀座的闭合位置用于在晶体已向上提拉之后，使提拉室与生长室隔离，上述制动装置由分离阀携带，并与分离阀一起活动，当分离阀移动到它的内缩位置和闭合位置中间的一个位置时，该制动装置占据其制动位置。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于：上述制动装置包括一对指形件，它们从分离阀延伸，当分离阀移动到上述中间位置时，这对指形件跨骑在料斗上。