[发明专利]电子显微镜测试用的辅助装置

说明书

本发明涉及一种测试中使用的辅助装置，具体涉及诸如电子显微镜或扫描电镜等表面测试仪器内的辅助装置，特别是测试样品对空气敏感而不能与空气接触时使用的一种辅助装置。

作为一种表面测试和分析的强力手段，电子显微镜广泛用于材料学科(无机材料，聚合物材料，超导体材料等)，化学学科(无机，有机，晶体，高分子，催化等)，物理学科，化学电源，生物医学等领域的研究和检测中。但是，众所周知，在众多测试中，许多样品的转移都是在空气中进行的。所述样品对空气都不敏感，即这些样品和空气接触时不会受到破坏，因而不需要特殊的样品转移装置。然而在测试领域中，许多样品对空气中的某些成分，如氧气，水分，二氧化碳等非常敏感，这些样品哪怕是和空气接触极短的时间，也会和空气中的某些成分发生相互作用而遭到破坏。这样，或者无法进行电子显微镜测试，或者由电子显微镜测试得到的结果根本不能反映真实情况。例如，高能锂电池中的锂电极就是这样。因此，需要特殊的一种辅助装置，亦即样品转移装置。这种辅助装置未见有公开，例如，下列研究锂电极的文献虽然都采用了特殊的样品转移装置，但并没有对装置进行具体的描述。

其一，M.Kovac，S.Milicev，A.Kovac，and S.Pejovnik，“Insituraman and electrochemical characterization of the role ofelectrolyte additives in Li/SOCl₂ batteries”，J.Electrochem.Soc.，142(5)，1390(1995).

其二.M.Aubay and E.Lojou，“Film formation on lithiumelectrode in LiAlCl₄/and LiALCl₄：3SO₂ based electrolytes”，J.Electrochem.Soc.，141(4)，865(1994).

其三. Y.Geronov，B.Puresheva，and R.Moshtev，J.PowerSources，9，273(1982).

其四.K.Nebesny，R.Kaller，et.al.，J.Electrochem.Soc.，129，2861(1982)。

本发明的目的是提供一种辅助装置，可以使电子显微镜或扫描电镜等仪器对任何样品进行测试。该辅助装置包括一个带有盖的舱室，一个带有阀门的气体出入口，至少一个导轨，一种密封配件和一种打开舱室盖的配件。

图1说明本发明辅助装置一个实施方案的简图。

图2说明舱室盖的一个优选实施方案。

图3说明本发明辅助装置另一个实施方案的简图。

其中相同数字代表相同部件。图中数字1代表辅助装置池体；2代表导轨；3代表密封配件，在此是个圆型密封圈；4是舱室，用来安放待测试样品；5是带有阀门的气体出入口；6是底座；7是打开舱室盖的配件，在此是个弹簧架和弹簧(图中未画出)；8是舱室盖。

下面参照附图结合优选实施方案说明本发明。