[发明专利]自动稳定化学浴的系统

权利要求书

1．一种自动稳定化学浴的系统，其中包括至少定期地从化学浴中除掉金属离子和污染物，该系统包括：

装有去离子水(DI水)的第一槽；

装有化学再生剂的第二槽；

装有化学浴的第三槽；

装有离子交换树脂的离子交换(IEX)柱，用于除去通过柱的化学浴内的金属离子污染物；

从该系统中排放掉废产物以便处理的废物出口；

由第一泵控制信号起动的第一泵装置；

由第二泵控制信号起动的第二泵装置；

与第一泵装置和IEX柱串联的第一阀门装置，它位于第三槽和废物出口之间；

与第一泵装置和IEX柱串联的第二阀门装置，由第三槽出发又回到第三槽；

与第二泵装置和IEX柱串联连接的第三阀门装置，位于第一槽和第三槽之间；    

与第二泵装置和IEX柱串联连接的第四阀门装置，位于第一槽和废液出口之间，用于为DI水提供一个经IEX柱沿一个方向流动的途径；

与第二泵装置和IEX柱串联的第五阀门装置，位于第二槽和废液出口之间；和

程序编制成能提供自动工艺控制程序的控制器，该控制程序包括以下的连续操作状态：

第一操作状态，用于从IEX柱中除掉残留的DI水，并从废水口排放掉除去的DI水，该第一状态程序包括：

向第一阀门装置发出和施加操作信号以开启该阀门的装置；和

向第一泵装置发出和施加第一泵控制信号的装置，用来将预定数量的化学浴泵送到IEX柱，从中顶替走多余的DI水，并将多余的DI水从废物口排放掉；和

第二操作状态，用于将化学浴进料流过IEX柱，以便从该化学浴中除掉金属离子，第二状态程序包括：

向第二阀门装置发出和施加操作信号以开启该阀门的装置；

向第一泵送装置发出和施加第一泵控信号的装置，用以将预定数量的化学浴泵送流过IEX柱以便处理，并由此送返到第三槽。

2．权利要求1的系统，其中还包括将控制器装置的程序编制成第三操作状态，用来从IEX柱中除掉残留的化学浴并将残留的化学浴送回到第三槽中，该第三操作状态的程序包括：

用于产生和向第三阀门装置施加操作信号以开启该阀门的装置，和

用于产生和向第二泵装置施加第二泵控制信号的装置，以便将预定数量的DI水泵送到IEX柱中，顶替走残留的化学浴，驱赶后者回到第三槽。

3．权利要求2的系统，其中还包括将控制器装置的程序编制成第四操作状态，以便用DI水第一次冲洗IEX柱，并将DI水从废水出口排放掉，该第四操作状态的程序包括：

用于产生并向第四阀门装置施加操作信号以开启该阀门的装置；和

用于产生并向第二泵装置施加第二泵控制信号的装置，以便将第一份预定数量的DI水沿一个方向泵送流过IEX柱，并由此流到废水出口。

4．权利要求3的系统，其中还包括将控制器装置的程序编制成第五操作状态，用于以化学再生剂冲洗IEX柱，使IEX柱内的树脂材料再生，该第五操作状态的程序设计包括：

用于产生并向第五阀门装置施加操作信号以开启该阀门的装置；和

用于产生并向第二泵装置施加第二泵控制信号的装置，以便将预定数量的化学再生剂泵送流过IEX柱并由此流到废液出口。

5．权利要求4的系统，其中还包括将控制器装置的程序编制成第六操作状态，用于在完成第五操作状态之后用DI水对IEX柱作第二次冲洗，该第六操作状态的程序包括：

用于产生并向第四阀门装置施加操作信号以开启该阀门的装置；和

用于产生和向第二泵装置施加第二泵控制信号的装置，以便将预定数量的DI水泵送沿一个方向流过IEX柱，并由此流到废液出口。

6．权利要求5的系统，其中还包括：

与第二泵装置和IEX柱串联连接的第六阀门装置，位于第一槽和废液出口之间，用以形成DI水沿着与上述方向相反的方向流过IEX柱的流体途径，以保证从IEX柱中除掉基本上所有的外来颗粒物。

7．权利要求5的系统，其中还包括：

连接在第三槽和IEX柱之间的第一过滤装置还包括第一阀门装置和第二阀门装置，用来在化学浴进入离子交换柱之前将其过滤。