[发明专利]改善了在碱性水溶液中剥离性能的可光成象组合物

权利要求书

1．一种负片型可光成象组合物，它包括：

A)形成膜的粘合剂聚合物，该聚合物具有足够的酸官能度，使所述的可光成象组合物能在碱性水溶液中显影，所述的粘合剂聚合物A)包括多峰分子量分布的聚合物；

B)能与所述的粘合剂聚合物A)交联的可光聚合单体；和

C)光引发剂。

2．如权利要求1所述的组合物，其特征在于所述的粘合剂聚合物A)可通过下列方法制备：

ⅰ)在聚合反应的主要阶段，连续改变引发剂与单体的比例和单体混合物的酸值；或

ⅱ)在聚合反应的主要阶段，顺序使引发剂与单体的比例和单体混合物的酸值在两个量值间改变。

3．如权利要求1所述的组合物，其特征在于所述的粘合剂聚合物A)的总的重均分子量(Mw)在约20,000-200,000之间。

4．如权利要求1所述的组合物，其特征在于所述的粘合剂聚合物A)总酸值在约100-235之间。

5．如权利要求2所述的组合物，其特征在于所述的引发剂与单体的比值和单体混合物的酸值在有效量范围变化，使得在聚合反应早期制得高分子量和高的酸值的聚合物组分，随后制得低分子量和低酸值的聚合物组分。

6．如权利要求5所述的组合物，其特征在于所述的高分子量和高酸值聚合物组分的重均分子量(Mw)在约70,000-200,000之间，酸值在约130-235之间；和

所述的低分子量和低酸值聚合物组分的重均分子量(Mw)在约20,000-70,000之间，酸值在约100-130之间。

7．如权利要求1所述的组合物，其特征在于所述的粘合剂聚合物A)包括有多峰分子量分布的酸官能的丙烯酸聚合物。

8．一种负片型可光成象组合物，它包括：

A)占A)+B)+C)总重量的约30-80％重量的粘合剂聚合物，该聚合物具有足够的酸官能度，使所述的可光成象组合物能在碱性水溶液中显影，所述的粘合剂聚合物A)包括多峰分子量分布的丙烯酸聚合物；

B)占A)+B)+C)总重量的约19-69％重量的能加成聚合的α,β-烯键不饱和化合物，该化合物能与所述的粘合剂聚合物A)通过自由基引发的链增长加成聚合反应形成加成聚合物；和

C)占A)+B)+C)总重量的约0.05-2％重量的产生自由基的光引发剂体系。

9．如权利要求8所述的组合物，其特征在于所述的粘合剂聚合物A)可通过下列方法制备：

ⅰ)在聚合反应的主要阶段，连续改变引发剂与单体的比值和单体混合物的酸值；或

ⅱ)在聚合反应的主要阶段，顺序使引发剂与单体的比值和单体混合物的酸值在两个量值间改变。

10．如权利要求8所述的组合物，其特征在于所述的光引发剂C)包括9-苯基吖啶或其同系物。

11．如权利要求10所述的组合物，其特征在于它还包括：

D)相对于A)+B)+C)总重量的约1-8％重量的二苯甲酸酯类增塑剂。

12．如权利要求11所述的组合物，其特征在于所述的粘合剂聚合物A)的重均分子量(Mw)至少约为70,000。

13．如权利要求12所述的组合物，其特征在于所述的粘合剂聚合物A)的酸值至少约为130，并可高达235。

14．如权利要求13所述的组合物，其特征在于所述的粘合剂聚合物A)源自甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯和丙烯酸正丁酯单体。

15．一种干膜光致抗蚀剂，它包括：聚合物支承片和一层和权利要求1所述的可光成象组合物。

16．一种干膜光致抗蚀剂，它包括：聚合物支承片和一层如权利要求2所述的可光成象组合物。