[发明专利]用于在一气体激发器中激发高频放电的方法和装置无效
| 申请号： | 99104320.0 | 申请日： | 1999-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1268793A | 公开（公告）日： | 2000-10-04 |
| 发明（设计）人： | A·V·维斯里维奇 | 申请（专利权）人： | CMC电影磁通讯公司 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 胡晓萍 |
| 地址： | 法国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 气体 激发 高频放电 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种在一气体激发器中激发高频放电的方法，其特征在于，在电极(1，2)之间的空隙中产生一工作气体和电学中性气体(8)的辅助射流的混合物的基础射流(A)，辅助气体射流可引入电极(1，2)之间空隙的基础气体射流(A)的出口区中。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，辅助射流(B)由一冷却的工作气体混合物构成。
3.一种实现如权利要求1所述方法的装置，由一包含两个其间构成一间隙的电极(1，2)的气体通过回路，用于气体通过的装置(6)，一辐射元件(5)和至少一个辅助气体通道构成，其特征在于，辅助气体通道的出口直接置于电极之间间隙的工作气体混合物的出口区中。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，辅助气体通道的入口连接到气体通过回路的再加热部分上。
5.如权利要求3和4所述的装置，其特征在于，辅助气体通道制成为经过至少一个电极的开口(9，10)。
6.如权利要求3和4所述的装置，其特征在于，在辅助射流通道中置有一灰尘过滤器(7)。
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