[发明专利]耐热性优异的固态传感器件及其制造方法无效
| 申请号： | 99104426.6 | 申请日： | 1999-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN1129964C | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 成田博史 | 申请（专利权）人： | 恩益禧电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/28 | 分类号： | H01L23/28;H01L21/56;H01L27/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹光新,王岳 |
| 地址： | 日本神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 耐热性 优异 固态 传感 器件 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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