[发明专利]以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法

说明书

本发明是一种以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法。

由于电子科技的快速进步，集成电路等系统产品的执行速度不断的被提高，在此状况下，对于印刷电路板电气特性的要求亦相对严格，以配合系统产品的执行速度。就印刷电路板而言，在制造过程中线宽控制的重要项目之一即为严格要求精确度。但在实际制造过程中，印刷电路板成品线宽却因制造过程步骤的变异而与底片原设计线路有所出入，意即印刷电路板成品上的线路出现过蚀(overetch)或蚀刻不全(underetch)现象，至于其线宽与原设计线路的差异则称为「侧蚀量」。由于该侧蚀现象将直接影响印刷电路板的电气特性，因此在线路底片设计时，必须针对该侧蚀量预作补偿，以便使制成后的印刷电路板线宽即为原设计线宽，而获致理想的线宽控制。

由上述可知，欲对线路底片预作补偿必须先了解制造过程中所造成的侧蚀量σ(σ＝W(底片线宽)-w(成品线宽))。

目前，对于取得前述侧蚀量σ的方法是将印刷电路板成品上的线路进行局部切片(Cross-section)，再以显微镜量测其实际线宽，但前述切片测量方法却存在如下的诸多缺点：

1.误差大：由于上述方法是针对线路中的一点进行测量，如一条线路仅取一测量点，则该测量点取得的宽度即代表整条线路的宽度，因此误差率极大，并无法真正达到精确控制线宽的目的。

2.耗时费工：前述切片测量方法须先针对印刷电路板成品进行切片，每一次切片的作业时间约须耗时15分钟，切片完成后的样本尚须经过灌胶硬化步骤，其硬化过程约须25分钟，故单以取样步骤其耗时甚长。

且如上所述，当每一条线路仅取单一测量点时，易产生极大误差，但如多取测量点时，则耗费的作业时间和成本是十分惊人的。

3.浪费材料：上述方法为破坏性测量，该测量步骤完成后，受测材料即无法继续使用，造成材料浪费。

4.高污染性：上述方法经由切片取得的样本须利用额外的材料进行灌模，该灌模使用材料除将提高制造成本外，其本身为高污染性原料，对于生态环境将造成严重破坏。

本发明主要目的在于提供一种以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法，它以直接测量线路电阻值换算出线路侧蚀量，供设计线路底片时预作补偿。

本发明所提供的一种以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法，其特征在于：主要是经测量取得印刷线路的实际电阻值，根据W(线宽)＝〔(ρ/t)×L(线长)〕/R±σ(侧蚀量)的关系式换算出线路的平均线宽，并与原底片线路比较线宽差异以取得侧蚀量。

上述的以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法，其中，该受测量电阻值的印刷线路是位于印刷电路板上，用以作线上品检。

上述的以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法，其中，根据测量印刷线路的实际电阻值R，而以1/R对底片原设计线宽绘成曲线图，并取得线性方程式以换算得侧蚀量。

上述以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法，其中，运用于内建电阻制造过程时，是根据W(线宽)＝〔(ρ/t)×L(线长)〕/R±σ(侧蚀量)关系式取得侧蚀量，并同时决定电阻材料的ρ(电阻系数)/t(厚度)值。

本发明至少具备下列优点：

1.误差率低：传统的切片线宽测量方法是针对线路的其中一点进行测量，因此误差率极大；而本发明是通过测量线路取得电阻值是整条线路的平均值，在准确率上远较切片测量方法显著提高。

2.测量作业单纯迅速：传统切片测量方法作切片时需15分钟，其灌胶硬化步骤又需25分钟，故实施时极耗时费工；本发明无需经过繁复的切片灌胶过程，仅需直接测量线路电阻值，即可换算取得侧蚀量，其实施效率较切片测量方法大幅增进。

当测量作业欲进一步提高其准确性及客观性，而需全面性的测量每一线路不同距离上的侧蚀量时，由于本发明仅需在线路的不同位置直接测量电阻值，即可达成全面性蚀刻均匀性分析，其效率更为切片测量方法所无法达到。

3.有效节省材料：传统切片测量方法为破坏性测量，使用后即无法继续使用；而本发明则为非破坏性测量方法，经过测量后的材料仍可继续使用，有效减少材料浪费。

4.无污染性：本发明的测量方法无须经过灌模硬化步骤，故不致因使用高污染性的灌模材料而破坏自然生态环境。

以下结合附图进一步说明本发明的具体结构特征及目的。

图1是本发明的测试基板示意图；

图2是本发明测试基板上各组线路的测量阻值表；

图3是本发明测量阻值对底片线宽的曲线图。

本发明主要是根据

R＝ρ(电阻系数)×L(线路长度)÷A(线路截面积)