[发明专利]托盘传送臂、换载装置和处理方法及集成电路试验装置

权利要求书

1．一种托盘传送臂，其特征在于：

基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元。

2．如权利要求1中记述的托盘传送臂，其特征在于：

具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上对于上下方向移动的驱动装置。

3．如权利要求1或2中记述的托盘传送臂，其特征在于：

上述一对托盘收容单元设置成为相互背对。

4．一种托盘的换载装置，在把设置在第1位置的第1托盘换载到第2位置，把设置在第3位置的第2托盘换载到上述第1位置的托盘的换载装置中，特征在于：

具有基本上沿着上下方向设置着能够收容上述第1以及第2托盘的至少一对托盘收容单元，并且把上述一对托盘收容单元设置成基本上能够沿着上下方向移动的托盘传送装置。

5．如权利要求4中记述的托盘的换载装置，其特征在于：

还具有装载被设置在上述第1位置的第1托盘使其基本上沿着上下方向移动的托盘升降装置。

6．如权利要求4或5中记述的托盘的换载装置，其特征在于：

上述第2位置以及上述第3位置的每一个对于上述第1位置基本上至少位于其上方，其下方或者水平方向的某一方。

7．如权利要求4～6的任一项中记述的托盘的换载装置，其特征在于：

上述第1位置是托盘的卸载机，上述第2以及第3位置是托盘的储料器，上述第1托盘是搭载结束了试验的被试验IC的托盘，上述第2托盘是空托盘。

8．如权利要求4～6的任一项中记述的托盘的换载装置，其特征在于：

上述第1位置是托盘的装载机，上述第2以及第3位置是托盘的储料器，上述第1托盘是结束了被试验IC的换载的空托盘，上述第2托盘是搭载了试验前的被试验IC的托盘。

9．如权利要求4～8的任一项中记述的托盘的换载装置，其特征在于：

还具有在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中装载上述第2托盘的托盘设置装置。

10．一种IC试验装置，这是把搭载了被试验IC的第1种托盘投入到装载机中，在被搬运到试验工艺中的第2种托盘中换载上述被试验IC，把上述第2类型托盘投入到上述试验工艺中把上述被试验IC进行试验的同时在上述每个被试验IC中存储其试验结果，把结束了上述试验的第2种托盘取出到卸载机中，根据上述试验结果从上述第2种托盘把上述被试验IC换载到上述第1种托盘的同时，在上述卸载机中，把结束了从上述第2种托盘的被试验IC的换载的第1种托盘从该卸载机中取出的同时，把另一第1种托盘投入到该卸载机中的IC试验装置，该IC试验装置的特征在于：

具有基本上沿着上下方向设置着能够收容上述第1种托盘的至少一对托盘收容单元的托盘传送装置。

11．如权利要求10中记述的IC试验装置，其特征在于：

具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上沿着上下方向移动的驱动装置。

12．如权利要求10或11中记述的IC试验装置，其特征在于：

还具有装载被设置在上述卸载机中的第1种托盘使其沿着上下方向移动的托盘升降装置。

13．如权利要求10～12的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于：

在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中还具有放置其它第1种托盘的托盘设置装置。

14．如权利要求10～13的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于：

在上述卸载机中还设置着保持上述第1种托盘的保持装置。

15．如权利要求10～14的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于：

基本上沿着水平方向设置多对上述卸载机，基本上沿着上述水平方向以与上述卸载机相同的节距设置多对上述托盘传送装置的托盘收容单元。

16．如权利要求10～16的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于：

在上述卸载机中，上述托盘传送装置的托盘收容单元的任一方能够暂时收容被试验IC换载过程中的上述第1种托盘。