[发明专利]用于离子源的十硼烷蒸发器

权利要求书

1．一种用于离子注入装置的离子源(50)，它包括：

(ⅰ)一个升华装置(52)，它有一个腔室(66)，用来容纳被升华的源材料(68)，并用来使此源材料升华；

(ⅱ)一个电离腔室(58)，用来把升华了的源材料电离，所述电离腔室远离所述升华装置；

(ⅲ)一根送料管(62)，用来把所述升华装置(52)连接到所述电离腔室(58)上；以及

(ⅳ)一种加热介质(70)，用来加热所述升华装置(52)和所述送料管(62)的至少一部分．

2．按照权利要求1中所述的离子源(50)，其还包括一个控制机构，用来控制所述加热介质(70)的温度。

3．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，所述控制机构包括用来将加热介质(70)加热的加热件(80)，用来使所述加热介质循环的泵(55)，用来提供来自所述加热介质(70)的温度反馈信号的至少一个热电偶(92)，以及一个控制器(56)，它对所述温度反馈信号作出响应，向所述加热件输出一第一控制信号(94)。

4．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，所述加热介质(70)是水。

5．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，所述加热介质(70)是矿物油。

6．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，所述源材料是一种分子固体，它有10^-2到10³乇之间的蒸汽压和20℃到150℃之间的升华温度。

7．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，所述源材料是十硼烷。

8．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，所述送料管(62)由石英制成。

9．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，所述送料管(62)由不锈钢制成。

10．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，所述电离腔室(58)包括一个入口(72)，用来接受来自压缩气体源的气体。

11．按照权利要求2中所述的离子源(50)，其特征在于，一个鞘套(90)围绕着所述送料管(62)，所述加热介质(70)通过该鞘套循环。

12．按照权利要求11中所述的离子源(50)，其特征在于，所述鞘套(90)包括由一个外鞘套(90B)围绕的一个内鞘套(90A)。

13．一种用于离子源(50)的蒸发器，它包括：

(ⅰ)一个坩埚(52)，它有一个腔室(66)，用来容纳被蒸发的源材料(68)，并用来使此源材料蒸发；

(ⅱ)一根送料管(62)，用来把所述蒸发器(52)连接一个远处的电离腔室上，在该腔室中，可以把被蒸发的源材料电离；以及

(ⅲ)一种加热介质(70)，用来加热所述蒸发器(52)和所述送料管(62)的至少一部分。

14．按照权利要求13中所述的蒸发器(50)，其还包括一个控制机构，用来控制所述加热介质(70)的温度。

15．按照权利要求14中所述的蒸发器(50)，其特征在于，所述控制机构包括用来将加热介质(70)加热的加热件(80)，用来使所述加热介质循环的泵(55)，用来提供来自所述加热介质(70)的温度反馈信号的至少一个热电偶(92)，以及一个控制器(56)，它对所述温度反馈信号作出响应，向所述加热件输出第一控制信号(94)。

16．按照权利要求14中所述的蒸发器(50)，其特征在于，所述加热介质(70)是水。

17．按照权利要求14中所述的蒸发器(50)，其特征在于，所述加热介质(70)是矿物油。

18．按照权利要求14中所述的离子源(50)，其特征在于，所述源材料是一种分子固体，它有10^-2到10³乇之间的蒸汽压和20℃到150℃之间的升华温度。

19．按照权利要求14中所述的蒸发器(50)，其特征在于，所述源材料是十硼烷。

20．按照权利要求14中所述的蒸发器(50)，其特征在于，所述送料管(62)由不锈钢制成。