[发明专利]具有高度匹配定向性的电压－电流探头

权利要求书

1、用于获取以预定射频(RF)施加在RF负载上的RF功率波的电流和电压成分的电流、电压以及相位信息的一种方法，其中具有一个具有一定长度的电压采集头(42)以及一个具有一定长度的电流采集头(52)的电压/电流探头(22)向信号处理器(24)提供电压采集信号V_V和电流采集信号V_i，该处理器对所述电压和电流采集信号进行处理并生成所述负载(20)上出现的电压值、电流值、相位值，这些值已经相对于电压和电流的驻波分量效应进行了校正，其特征在于，该方法包括以下步骤

在对于预定的射频的预定标参数的基础上，作为电压采集信号和电流采集信号的复函数计算所述电压，以及

在对于所述射频的预定标参数的基础上，作为电压采集信号和电流采集信号的复函数计算所述电流。

2、用于获取以预定射频(RF)施加在RF负载上的RF功率波的电流和电压成分的电流、电压以及相位信息的一种方法，其中具有一个具有一定长度的电压采集头(42)以及一个具有一定长度的电流采集头(52)的电压/电流探头(22)向信号处理器(24)提供电压采集信号V_V和电流采集信号V_i，该处理器对所述电压和电流采集信号进行处理，并生成在所述负载上出现的电压值、电流值、相位值，这些值已经相对于电压和电流的驻波分量效应进行了校正，其特征在于，该方法包括以下步骤

在对于预定的射频的预定标参数的基础上，作为电压采集信号和电流采集信号的复函数计算所述经过修正的电压，

在所述电压和电流采集信号的基础上计算所述预定射频下的复阻抗，以及

在所述经过校正的电压值和所述复阻抗的基础上，计算所述经过校正的电流值。

3、用于获取RF功率波的电流和电压成分的电流、电压以及相位信息的一种方法，所说RF功率波是以在一个射频范围内选择的一个工作频率施加在RF负载(20)上的，其中具有一个具有一定长度的电压采集头(42)以及一个具有一定长度的电流采集头(52)的电压/电流探头(22)向信号处理器(24)提供电压采集信号V_V和电流采集信号V_i，该处理器对所述电压和电流采集信号进行处理并产生出现在所述负载(20)上的电压值、电流值、相位值，这些值已经相对于电压和电流的驻波分量效应进行了校正，其特征在于，该方法包括以下步骤

-对在所述范围内的多个定标射频的每一个，

在以下条件下(a)开路负载，(b)短路负载，(c)固定的已知阻抗负载，以及(d)从一个RF定标源以一个精确的输入电平施加在一个已知负载上的电压和电流中的一个，得到电压和电流采集信号；以及

以在上述条件(a)到(d)的条件下得到的电压和电流值为基础计算和存储校正系数；以及

-在所选择的工作频率下，将所存储的校正系数施加到所述电压和电流采集信号上从而得到一个或多个经过校正的电压值、一个经过校正的电流值，以及一个经过校正的负载阻抗值。

4、如权利要求3所述的方法，其特征在于，对于在已经为其存储了校正系数的连续的定标用射频之间所选择的一个工作频率，所述施加所存储的校正系数的步骤包括在所选择的工作频率之上和之下的所述定标频率的每个所述校正系数的存储值之间进行内插。

5、如权利要求3所述的方法，其特征在于所述固定的已知阻抗是一个50Ω电阻性负载。

6、如权利要求3所述的方法，其特征在于所述发射频率在大约0.2兆赫兹到大约100兆赫兹之间的范围内。