[发明专利]光刻胶正胶组合物

权利要求书

1．一种光刻胶正胶组合物，它含有一种酚醛清漆树脂，一种辐射敏感性醌重氮化合物和一种由下述式(Ⅰ)表示的噻吨酮化合物：其中，R¹,R²,R³,R⁴,R⁵,R⁶,R⁷和R⁸独立地表示氢，卤素，烷基，烷氧基，芳基，羧基或烷氧基羰基。

2．按照权利要求1所述的正胶组合物，其中，当含量由凝胶渗透层析的图形面积表示时，具有1000或者更小分子量的酚醛清漆树脂组分的量基于不包括没有反应的酚化合物的酚醛清漆树脂的总量是25％或者更小，其中，该图形面积是指通过紫外检测器在254nm测得的值，分子量是指基于聚苯乙烯为标准的值。

3．按照权利要求1所述的正胶组合物，它还含有一种低分子量碱溶性酚化合物，这种化合物的量基于酚醛清漆树脂和这种低分子量碱溶性酚化合物的总量为3至40％(重量)。

4．按照权利要求1所述的正胶组合物，其中，式(Ⅰ)中的噻吨酮化合物选自噻吨酮，1-氯噻吨酮，2-氯噻吨酮，3-氯噻吨酮，4-氯噻吨酮，1-甲基噻吨酮，2-甲基噻吨酮，3-甲基噻吨酮，4-甲基噻吨酮，1-乙基噻吨酮，2-乙基噻吨酮，3-乙基噻吨酮，4-乙基噻吨酮，1-异丙基噻吨酮，2-异丙基噻吨酮，3-异丙基噻吨酮，4-异丙基噻吨酮，甲基噻吨酮-1-羧酸酯，和甲基7-甲基噻吨酮-3-羧酸酯。

5．按照权利要求1或3所述的正胶组合物，其中，噻吨酮化合物的量基于100重量份的酚醛清漆树脂和低分子量碱溶性酚化合物的总重量，为约0.01至5重量份。