[发明专利]用于研磨磁头的设备和方法

权利要求书

1.用于研磨由一个工具支承的具有多个磁头的工件的设备，该设备包括：

一个具有研磨表面的旋转研磨工作台；

研磨头安装装置，其设置得可相对于所述研磨工作台移动；

一个调节环，它由所述研磨头安装装置弹性地支承以便与所述研磨表面接触；

一个安装在所述调节环上的研磨头，所述研磨头的姿态由所述调节环控制；

一个倾斜组件，它安装在研磨头上以便绕一平行于所述研磨表面的倾斜轴线倾斜；

倾斜组件驱动装置，其用于使倾斜组件相对于所述研磨表面倾斜；

一个提升组件，其可以相对于倾斜组件上、下移动；

一个枢接于倾斜组件下部的支承板，所述工具安装在所述支承板上；

第一致动装置，其用于通过在所述支承板的枢轴点的右侧和左侧施加力来修正平衡；以及

第二致动装置，其用于在所述工具的多个预定位置上施加工作力，使第二致动装置的活动部分的运动方向基本平行于工作力的方向，从而修正工件的弓形。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述第一致动装置设置得使第一致动装置的活动部分的运动方向基本平行于所述力的方向。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述第二致动装置包括多个第二磁致动器。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述第二致动装置包括多个低摩擦式缸。

5.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述第一致动装置包括多个第一磁致动器。

6.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述第一致动装置包括多个低摩擦式缸。

7.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述调节环由所述研磨头安装装置可转动地支承。

8.如权利要求3所述的设备，其特征在于：所述研磨头安装装置包括用于使研磨头和调节环以预定的角度范围摆动的装置。

9.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述工具在一个中央点安装在所述支承板上。

10.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述设备还包括用于检测所述工具的右端和左端的位置的装置。

11.如权利要求3所述的设备，其特征在于：所述第二磁致动器包括活动部分和静止部分，所述活动部分和静止部分分别包括线圈和磁铁或包括磁铁和线圈。

12.如权利要求5所述的设备，其特征在于：所述第一磁致动器包括活动部分和静止部分，所述活动部分和静止部分分别包括线圈和磁铁或包括磁铁和线圈。

13.如权利要求9所述的设备，其特征在于：所述工具的所述预定位置设置在工具的中央，以及在右方和左方相对于所述工具中央对称地设置在工具上。

14.用于研磨包括多个磁头的工件的方法，该方法包括以下步骤：

设置一个用支承工件的工具、一个具有研磨表面的旋转研磨工作台、一个与所述研磨表面接触的调节环、一个安装在调节环上的研磨头、一个安装在研磨头上的倾斜组件、一个可相对于倾斜组件上、下移动的提升组件、一个枢接于提升组件下部的支承板、用于在支承板上施加力以便修正平衡的第一致动装置，以及第二致动装置，其用于在工具上施加工作力，使第二致动装置的活动部分的运动方向基本平行于工作力的方向，从而修正工件的弓形；

将所述工具安装在所述支承板上；

借助调节环控制研磨头的姿态；

在下述条件下研磨工件的多个磁头：第一致动装置在支承板的枢轴点的右侧和左侧上施加力，且第二致动装置当工具由提升装置支承时，在工具的多个预定位置上施加工作力；以及

在下述条件下研磨工件的底面：通过使倾斜组件相对于研磨头倾斜，从而使工具相对于研磨工作台的研磨表面的垂面倾斜。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于：所述第一致动装置在支承板上施加力，使第一致动装置的活动部分的运动方向基本平行于所述力的方向。

16.如权利要求14所述的方法，其特征在于：所述方法还包括以预定的角度连续转动或摆动所述研磨头的步骤。

17.如权利要求14所述的方法，其特征在于：所述方法还包括转动调节环的步骤。