[发明专利]电容器的制造方法

说明书

本发明涉及一种电容器的制造方法。更详细地说，就是涉及在旋转的支持体上依次层叠由树脂层构成的第1保护层、通过交替地层叠树脂层和金属薄膜层而产生作为电容器的电容量的元件层、以及进而层叠由树脂层构成的第2保护层时，在层叠的过程中通过根据此前的层叠状况决定其后层叠的层叠数而可以使各层的层叠厚度、整体厚度或静电容量成为所希望的值的电容器的制造方法。

将层叠树脂层的工序和层叠金属薄膜层的工序作为1个单位，通过在旋转的支持体上反复进行这些工序而制造交替地层叠树脂层和金属薄膜层的层叠体的方法以及在这样得到的层叠体上形成外部电极来制造大容量小型电容器的技术，根据例如欧洲专利公开第0808667号，已是众所周知的技术。

下面，参照附图说明层叠树脂层和金属薄膜层来制造电容器用的层叠体的方法的一例。

图15是示意性表示现有的用于实施电容器用层叠体的制造方法的制造装置的一例的概略结构的剖面图。

层叠体制造装置900在真空槽901内具有转动的圆筒形的密封滚筒910、配置在密封滚筒910的周围的树脂层形成装置920、树脂硬化装置940和金属薄膜形成装置930。真空槽901内由真空泵902维持为减压状态。

将从树脂层材料供给管921由流量调整阀门922调整为指定流量的液体状态的树脂层材料供给树脂层形成装置920。液体状态的树脂层材料蓄积在加热容器923中，被加热而蒸发，附着于沿转动方向924的方向转动的加热滚轮925的外表面上，再次蒸发并附着于沿转动方向911的方向转动的密封滚筒910的外圆周面上。

由于密封滚筒910已冷却到树脂层材料的熔点以下，所以，附着的树脂层材料在密封滚筒910的表面冷却后，形成由树脂层材料构成的固体状的树脂层。

形成的树脂层由树脂硬化装置940照射紫外线后而硬化。

然后，由金属薄膜形成装置930通过蒸镀在树脂层表面形成铝薄膜。这时，利用油控边缘法(oil margin)使油以带状形式附着在树脂层表面，防止在该部分形成金属薄膜，可形成边缘部(绝缘区域)，从而形成带状的金属薄膜层。

这样，通过密封滚筒910的转动，在密封滚筒910的外圆周面上便交替地形成由树脂层形成装置920形成的树脂层和由金属薄膜形成装置930形成的金属薄膜层，从而便可制造由树脂层和金属薄膜层构成的层叠体。

通过切断这样得到的层叠体，形成外部电极，便可制造出图16所示的电容器。图16所示的电容器950由交替地层叠树脂层951和金属薄膜层952而形成的层叠体和在该层叠体的两端的侧面部形成的一对外部电极954构成。外部电极954与金属薄膜层952导电性地连接。另一方面，层叠在各树脂层951上的金属薄膜层952，由在纸面内沿纵深方向形成带状的边缘部953分离为电绝缘的2个区域。因此，通过使一对电极954带不同的电位，电容器950就具有作为以各树脂层951为电介质层的电容器的功能。

按照上述方法，可以制造树脂层厚度为0.05～1μm、金属薄膜层厚度为20～100nm的电容器，与层叠由蒸镀在高分子薄膜上形成金属薄膜层而得到的金属薄膜所获得的现有的电容器相比，是一种可以制造小型、大容量、并且低成本的电容器而开发的技术。

另一方面，随着当今技术开发竞争的激化，对结构部件则更加要求高质量，对于电容器也不例外，要求以极小的离散性提供小型、大容量的电容器并维持一定的质量。

对于这样的状况，在上述制造方法中，稳定地得到所希望的树脂层及金属薄膜层的厚度和边缘部的宽度是困难的。这些层叠厚度及边缘部的宽度随各种因素而变动。层叠厚度受例如树脂层材料及金属材料的蒸发量的变化的影响，特别是由于树脂层材料是高分子聚合物，所以，与金属材料的蒸发量的控制相比，将其蒸发量始终维持恒定是特别困难的。另外，边缘部宽度受附着在树脂层表面的图案材料(油)的宽度及其附着量的影响。

树脂层的层叠厚度影响到能得到的电容器的电容量和总厚度，另外，金属薄膜层的层叠厚度影响到能得到的电容器的总厚度。因此，如果不能充分控制各层叠厚度，则实际得到的电容器的电容量及总厚度将大大偏离目标值，另外，它们的离散度也将偏离作为目标的允许范围。

另外，边缘部的宽度与起到电容器的电极的功能的金属薄膜层的形成面积密切相关。因此，如果不能充分控制边缘部的宽度，则实际得到的电容器的电容量将大大偏离目标值，另外，它们的离散度也将偏离作为目标的允许范围。