[发明专利]热压接合加热器与热压接合用接合夹具

说明书

本发明是关于热压接合加热器与热压接合用接合夹具的发明，特别是关于适用于采用磁阻元件的薄膜磁头制造工艺的热压接合加热器与热压接合用接合夹具的发明。

首先，参照附图对现有的用于硬磁盘的、采用磁阻(MR)元件的薄膜磁头进行说明。

图8是表示薄膜磁头的立体图，图9是表示薄膜磁头的滑块与金属板连接状态的立体图。

如图8、图9所示，薄膜磁头由在其前面形成在硬磁盘(磁记录媒体)上记录信息或将硬磁盘上记录的信息读出用薄膜构成的磁头元件6的、陶瓷材料构成的滑块1，其前端部用粘结剂固定着滑块1的里面的柔性金属板2，用点焊固定于金属板2一端的、不锈钢材构成的、具有弹性的负荷梁3，用点焊固定于负荷梁3后端部的、不锈钢材构成的安装架4，装在金属板2上、给磁头元件6提供电气信号的导电图形8，以及与导电图形8连接、固定于负荷梁3后端部的柔性电路板5构成。

滑块1大致呈矩形，四面由一对侧壁1a与前壁1b、后壁1c包围，还具有表面壁1d与里面壁。

在前壁1b上并排地设置着四个与磁头元件6通电用的、由黄金制成的、薄膜状的四个矩形接线端子7(两个记录用接线端子与两个读出用接线端子)。

金属板2由不锈钢材制成，呈平板状，具有一个前端部有柔性的安装部2a以及保持着安装部2a的保持部2b。滑块1用粘结剂固定于金属板2的安装部2a上。

在金属板2的上面，通过印刷形成导电图形8。该导电图形8具有一对绝缘层(图中未表示出)，以及配置于该绝缘层之间、在铜或镍表面镀金的四个导电层8a。在该导电图形8的一个端部设有分别与四个导电层8a连接的第一端子部8b，在其另一端部，同样设有四个第二端子部8c。第一端子部8b为矩形，在导电图形8的长度方向每隔一定间隔设置，形成一列。

导电图形8的第二端子部8c分别通过金线(图中未表示出)熔化后形成的金球9与滑块1所设的接线端子7连接。

负荷梁3由不锈钢材制成，大致呈矩形平板状，在一个端部有支撑部3a，以及从支撑部3a延伸出来的保持部3b。在支撑部3a的大致中央部位形成有圆形的孔3c，在保持部3b上通过点焊固定着金属板2的保持部2b。

安装架4由不锈钢材制成，大致呈矩形平板状，在其大致中央部位具有安装用的孔4a。该安装架4通过点焊固定在负荷梁3的支撑部3a上。在这种情况下，安装架4的孔4a与负荷梁3的孔3c配置于同样的位置。

导电图形8具有聚酰亚胺树脂制成的绝缘层(图中未表示出)以及介于该绝缘层之间、由铜或镍构成的四个导电层8a。在该导电图形8的一个端部设有分别与四个导电层8a连接的第一端子部8b，在其另一端部，同样设有四个第二端子部8c。

该导电图形8是在金属板2的上面通过印刷形成的。这时，第一端子部8b是在沿安装架4的侧端的状态下配置于负荷梁3的支撑部3a上的。

导电图形8的第二端子部8c分别通过金线(图中未表示出)熔化后形成的金球9与滑块1所设的接线端子7连接。

柔性电路板5具有聚酰亚胺树脂制成的绝缘层5c，以及介于绝缘层5c之间、由铜或镍构成的四个导电层5a。在柔性电路板5的导电层5a的一个端部设有四个圆形的端子部5b，在其另一端部，设有同样的四个端子部(图中未表示出)。

又如图16所示，柔性电路板5的端子部5b在柔性电路板5的长度方向每隔一定间隔t1设置，形成一列，在该端子部5b的表面形成焊锡镀层5d。在这种情况下，形成了焊锡镀层5d的端子部5b按所定的高度t2从绝缘层5c向下方突出。

该柔性电路板5的各端子部5b与导电图形8的各第一端子部8b分别构成被热压接合构件的被热压接合部，该被热压接合部分别以软钎焊连接，分别通电。

图11是说明现有的薄膜磁头的柔性电路板与导电图形热压接合连接工艺的主要部分分解立体图，图12是表示现有的热压接合加热器的主视图，图13是图12的主要部分立体图，图15是表示现有的压紧构件的主要部分立体图，图16是说明现有的薄膜磁头的柔性电路板与导电图形热压接合连接工艺的说明图。

首先，对在薄膜磁头的柔性电路板与导电图形的热压接合连接工艺中使用的热压接合用接合夹具进行说明。

如图11～图13以及图15、图16所示，热压接合用的接合夹具10具有保持台部11、热压接合加热器12以及压紧构件13。

保持台部11由金属材料制成，具有大致呈矩形的装载部11a，突出于装载部11a上面的炮弹状第一销11b，设置于以第一销11b为中央的对称位置、向上方突出的一对大致呈圆锥形的第二销11c，及设置于装载部11a两侧壁的一对矩形缺口11e。