[发明专利]甲硅烷氢化物功能树脂上的无电金属沉积

权利要求书

1.在基体表面通过无电金属沉积形成带图案的金属膜的一种方法，其特征在于该方法包括：将含有甲硅烷氢化物功能树脂的带图案的涂层涂覆到基体上，以及将含有金属离子的无电电镀溶液涂在甲硅烷氢化物功能树脂涂层上，从而在基体上沉积形成带图案的金属膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：甲硅烷氢化物功能树脂是氢化倍半硅氧烷树脂(hydrogen silsequioxane resin)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于在涂无电电镀溶液前将甲硅烷氢化物树脂涂层加热。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于金属离子来源于金属盐，并且无电电镀溶液还含有一种或多种选自金属盐的溶剂、还原剂、碱、溶解金属盐的配合剂、表面活性剂和控制溶液稳定性以及溶液镀覆速率的添加剂的物质。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于基体包括电子基体。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于在涂无电电镀溶液前，将含有金属离子的金属晶种溶液涂在甲硅烷氢化物功能树脂涂层上以沉积晶种金属层。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于在涂无电电镀溶液前加热晶种金属层。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于通过涂含有甲硅烷氢化物功能树脂和稀释剂的混合物，并让稀释剂蒸发的方法来沉积含有甲硅烷氢化物功能树脂的涂层。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于甲硅烷氢化物功能树脂溶液还含有光固化添加剂。

10.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于使用抗蚀性材料使甲硅烷氢化物功能树脂涂层形成图案。

11.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于无电电镀溶液中的金属离子选自钯、锡、铑、金、银、铂、钴、锌、钛、汞、铜、铁、钽、锌、铅、铀、镍、钴、铬、铋、锇、钌、锑和它们的混合物以及合金。

12.一种表面有金属膜的电子基体，其特征在于金属膜是根据权利要求1或2的方法形成的。