[发明专利]烷氧基N－羟基烷基链酰胺作为抗蚀剂脱除剂的用途

权利要求书

1、一种抗蚀剂脱除剂，其包含烷氧基N-羟基烷基链酰胺。

2、根据权利要求1的抗蚀剂脱除剂，其中，烷氧基N-羟基烷基链烷酰胺由式(I)表示：

R₄-O-R₃-CO-N-R₁R₂OH         (I)其中

R₁为氢原子、C₁-C₅烃基或具有1-3个环的芳族烃基；

R₂为C₁-C₅烃基或具有1-3个环的芳族烃基；

R₃和R₄彼此独立地为C₁-C₅烃基。

3、根据权利要求2的抗蚀剂脱除剂，其中，R₁为氢，R₂为-CH₂CH₂-，R₃为-CH₂CH₂-，R₄为-CH₃。

4、一种抗蚀剂脱除组合物，其包含：

烷氧基N-羟基烷基链烷酰胺；和

至少一种偶极矩为3或大于3的极性材料和一种侵蚀抑制剂。

5、根据权利要求4的抗蚀剂脱除组合物，其中，烷氧基N-羟基烷基链烷酰胺由式(I)表示：

R₄-O-R₃-CO-N-R₁R₂OH         (I)其中

R₁为氢原子、C₁-C₅烃基或具有1-3个环的芳族烃基；

R₂为C₁-C₅烃基或具有1-3个环的芳族烃基；

R₃和R₄彼此独立地为C₁-C₅烃基。

6、根据权利要求4的抗蚀剂脱除组合物，其中，极性材料选自水、甲醇和二甲亚砜。

7、根据权利要求4的抗蚀剂脱除组合物，其中，侵蚀抑制剂由下式(II)表示：

                 R₆-(OH)_n     (II)其中，R₆为C₁-C₅烃基，具有-COOH基团的C₁-C₅烃基，具有1-3个环的芳族烃基，或具有1-3个环且在至少一个环上具有-COOH基团的烃基。n为整数1-4。

8、根据权利要求4的抗蚀剂脱除组合物，其中，以抗蚀剂脱除组合物重量计，烷氧基N-羟基烷基链烷酰胺的含量为约30至约99.9wt％。

9、根据权利要求4的抗蚀剂脱除组合物，其中，以抗蚀剂脱除组合物重量计，极性材料和侵蚀抑制剂的含量分别为约0.01至约30wt％。

10、一种抗蚀剂脱除组合物，其包含：

烷氧基N-羟基烷基链烷酰胺；和

链烷醇胺。

11、根据权利要求10的抗蚀剂脱除组合物，还包含至少一种偶极矩为3或大于3的极性材料和一种侵蚀抑制剂。