[发明专利]含混合稀土元素的高阻溅射靶材及其生产工艺无效
| 申请号： | 99113965.8 | 申请日： | 1999-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN1121507C | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吴建生;毛大立;王家敏 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/05 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹,罗荫培 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 混合 稀土元素 溅射 及其 生产工艺 | ||
【说明书】：
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