[发明专利]滑块的加工装置及加工方法和滑块加工用负荷施加装置及滑块加工用辅助装置

说明书

本发明涉及一种滑块加工装置及加工方法、滑块加工用负荷施加装置及滑块加工用辅助装置，这种加工装置和加工方法用于对漂浮型磁头等所使用的滑块边缘部分进行磨边加工。

磁盘装置等所使用的漂浮型磁头一般是在滑块的后端部形成薄膜磁头元件而构成的。一般说来，滑块表面具有成为媒体相向面(空气轴承面)的轨道部，而且在空气流入一侧的端部附近具有倾斜部或台阶部，从倾斜部或台阶部流入的空气使轨道部从磁盘等记录媒体表面稍稍漂浮起来。

这种滑块，例如像日本特开平6-282831号公报所述那样，要对滑块的边缘部分进行磨边加工，以便在滑块摇动、倾斜时，例如轨道部的媒体相向面和轨道部的外侧侧面之间的边缘部分(下面也称轨道部的边缘部)等滑块边缘部分不会划伤记录媒体。

相关技术的对滑块边缘部分的磨边加工方法有例如像日本特开平6-12645号公报所公开的方法，该方法一面向设在弹性体上的金刚石研磨片施加负荷、一面使滑块的媒体相向面与金刚石研磨片接触，使滑块相对于金刚石研磨片移动而进行研磨。

上述磨边加工方法需要向滑块施加负荷，将滑块按压在金刚石研磨片上。可是，该方法存在着下述问题，即由于金刚石研磨片的母材很薄，特别是在尚未对轨道部的边缘部分进行磨边时，或在磨边的初期阶段，滑块边缘部分有时会将金刚石研磨片切断。

另外，上述磨边加工方法在实际加工时需要往夹具上施加负荷，将滑块按压在金刚石研磨片上。而且，在滑块往加工装置上安装或从加工装置上取下时，夹具上不能有负荷。因此，需要只在必要时才对夹具施加负荷的机构。

作为这种机构，可考虑设置法码及法码保持部、并使法码保持部在上下方向上移动的机构，其中法码包括轴部和比轴部直径大的大直径部，该轴部的下端部可与夹具接触；法码保持部利用使法码的轴部插通、并阻止大直径部插通的孔使法码在轴部的轴向上可移动地保持着。

但是，这种机构存在着以下问题，即法码的轴部与法码保持部的孔之间频繁地摩擦会产生切屑(粉)，有时使法码不能相对于法码保持部圆滑地运动。

另外，上述磨边加工方法基本上可对滑块的整个边缘部分均匀地进行磨边加工。

但是，上述磨边加工方法存在着这样的问题，例如即使想对滑块的空气流入一侧边缘部分那样的一部分边缘部分比其他边缘部分多进行磨边加工，也不可能做到。

磁头用的滑块是这样构成的，即在一个方向上将数个磁头元件呈矩阵状地形成的薄片切断，形成被称作棒的块，该棒包括排列成一行的数个磁头元件，在该棒上形成轨道之后，再将棒切断而分离成一个一个的滑块。这里，上述日本特开平6-282831号公报所述的滑块中，2根轨道的外侧侧面直接作为滑块的侧面。但存在着这样的问题，即在将滑块做成上述日本特开平6～282831号公报所述的那种形状的情况下，将棒切断、形成滑块时的机械加工会在轨道部上产生碎片(屑)。

因此，如图47所示，一般是做成形成有轨道部213的滑块，该轨道部213的侧面214配置在仅距滑块211的侧面212、即棒的切断部一段规定距离的内侧。以下，将这种形状的滑块称作二段结构的滑块。

这种二段结构的滑块也要对轨道部的边缘部分进行磨边加工。相关技术的对轨道部的边缘部分进行磨边加工的方法，例如，如上述日本特开平6-12645号公报所述，有使滑块在设在弹性体上的金刚石研磨片上滑动的方法。图48是用于大致说明该相关技术的磨边加工方法的说明图。该相关技术的磨边加工是将数个滑块211固定在夹具215上，一边向图中符号218所示的方向按压设在例如用硅橡胶制成的板状弹性部件216上的金刚石研磨片217，一边在水平方向的两个方向上滑动，对轨道部213的边缘部分219进行磨边加工。图49是把用图48所示的方法进行了磨边加工之后的轨道部213的边缘部分219附近(图48中的C部)放大后表示的视图。

相关技术的磨边加工的其他方法有日本特开平2-301014号公报所述的方法，该方法一边通过导向装置对研磨带进行导向，一边使研磨带做往复运动，使研磨带相对于滑块的轨道部滑动。

但是，近年来由于记录密度提高，故要求减小滑块的漂浮量。又因存取速度的高速化，故要求滑块的漂浮要稳定。最近人们逐步采用负压滑块来满足这些要求。一般，在负压滑块上，在2根轨道部之间设有产生负压用的凹部。这种负压滑块成为记录媒体一侧的面呈微细的形状，特别是轨道部的高度与以往的滑块相比大大减小。