[发明专利]优化切割的石英基片上的低损耗表面声波滤波器

权利要求书

1、表面声波设备，包括：

具有表面声波传播表面的石英基片；和

在所述基片上生成传感中心和反射中心的装置；

其中此基片具有相对于切割平面(X，Z)定义的和在基准系统(X”，Y”，Z”)中的切割平面(X”，Z”)，如果X、Y、Z是石英的晶轴，波的传播方向沿轴X”定义，第一切割平面(X’，Z’)被围绕平面(X，Z)的轴Z旋转角度φ所定义从而定义带有与轴Z相同的轴Z’的第一基准系统(X’，Y’，Z’)，第二切割平面(X’，Z’)被围绕平面(X’，Z’)的轴X’旋转角度θ所定义从而定义带有与轴X’相同的轴X’的第二基准系统(X’，Y’，Z’)，沿轴X的传播方向被在平面(X”，Z”)中围绕轴Y”旋转轴X”的角度ψ所定义，其中：

-60℃≤φ≤0°

θ被限制在围绕-40.Cos(3φ)的±40°的范围内，

ψ被限制在围绕35°+10°.Sine(3φ)的±22.5°的范围内。

2、按照权利要求1的表面声波设备，其特征是：

-60≤φ≤0°，

定义(θ，φ)使得作为温度函数的频率中的一次变化系数在10ppm/°k至+10 ppm/°k的范围内变化和通量角度在-5°至+5°的范围内变化。

3、按照权利要求1的设备，其特征是包括用于生成传感器中心和反射中心的交叉梳状电极。

4、按照权利要求1的设备，其特征是还包括为生成反射中心的电极阵列。

5、按照权利要求3的设备，其特征是石英基片局部地包括为生成传感中心的蚀刻槽。

6、按照权利要求3的设备，其特征是电极由铝制成。