[发明专利]样品处理系统无效
申请号: | 99123443.X | 申请日: | 1999-11-05 |
公开(公告)号: | CN1258093A | 公开(公告)日: | 2000-06-28 |
发明(设计)人: | 柳田一隆;近江和明;坂口清文 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L27/12 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 孙征 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品 处理 系统 | ||
1.一种处理样品的处理系统,其包括:
一系列用来操作或处理所述样品的处理设备;和
一套传送装置,后者具有一个用来固定样品的固定部分,所述传送装置在水平面内直线移动所述固定部分,并使之绕一旋转轴旋转,从而使所述固定部分移近或远离所述旋转轴,从而完成样品在所述系列处理设备之间的传送,
其中,所述系列处理设备设置的位置适合于所述传送装置输送所述样品。
2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系列处理设备设置在与所述旋转轴的移动范围基本上等距的位置上。
3.如权利要求1或2所述的系统,其特征在于,所述传送装置具有一个水平驱动轴,并沿着水平驱动轴移动所述固定部分。
4.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述系列处理设备中的某些处理设备设置在水平驱动轴的一侧的基本上平行于水平驱动轴的直线上。
5.如权利要求4所述的系统,其特征在于,所述系列处理设备中剩下的处理设备设置在水平驱动轴另一侧的基本上平行于水平驱动轴的直线上。
6.如权利要求5所述的系统,其特征在于,所述系列处理设备中剩下的处理设备中的某些处理设备设置在与水平驱动轴的一端和/或另一端相距预定距离的位置上。
7.如权利要求5所述的系统,其特征在于,设置在水平驱动轴的一侧的所述处理设备包括一个用来操作所述样品或对之进行物理或化学处理的处理设备,并且,设置在水平驱动轴的另一侧的所述处理设备包括一个用来操纵所述样品的装料器或卸料器。
8.如权利要求6所述的系统,其特征在于,设置在水平驱动轴的一侧的所述处理设备,以及设置在水平驱动轴的一端和/或另一端的处理设备,包括一个用来操作所述样品或对之进行物理或化学处理的处理设备,并且,设置在水平驱动轴的另一侧的所述处理设备包括一个用来操纵所述样品的装料器或卸料器。
9.如权利要求1到8之任何一项所述的系统,其特征在于,所述要处理的样品是板状样品,所述传送装置以所述固定部分基本上水平地固定并输送该板状样品。
10.如权利要求9所述的系统,其特征在于,所述系列处理设备中的每一个设备向所述传送装置的固定部分输送样品或由之接收样品,都在基本上水平的状态下进行。
11.如权利要求9或10所述的系统,其特征在于,要处理的板状样品具有一个分割层,且所述系列处理设备包括至少一个分割设备,用来在所述分割层处分割所述板状样品。
12.如权利要求11所述的系统,其特征在于,所述分割设备在将样品水平固定的情况下分割所述板状样品。
13.如权利要求11所述的系统,其特征在于,所述分割设备在水平固定所述板状样品的情况下向所述分割层喷射液流以在该分割层处将所述板状样品分割。
14.如权利要求11所述的系统,其特征在于,所述分割设备在水平固定并旋转所述板状样品的情况下向所述分割层喷射液流以在该分割层处将所述板状样品分割。
15.如权利要求13或14所述的系统,其特征在于,所述分割设备在将所述样品夹在上下两侧之间而固定的情况下分割所述板状样品。
16.如权利要求12到15之任何一项所述的系统,其特征在于,所述分割设备具有一个伯努利吸盘,作为固定所述板状样品的装置。
17.如权利要求11所述的系统,其特征在于,所述分割设备向所述板状样品的至少局部分割层以基本上静止的流体施加压强,以在所述分割层处分割所述板状样品。
18.如权利要求11或12所述的系统,其中,所述分割设备有一个封闭的容器,所述板状样品存放于该封闭容器中,提高该封闭容器中的压强,以便在所述分割层处分割所述板状样品。
19.如权利要求11到18之任何一项所述的系统,其特征在于,所述系列处理设备包括一个对中设备,用来在将所述板状样品输送到分割设备之前令其对中。
20.如权利要求11到19之任何一项所述的系统,其特征在于,所述系列处理设备包括一个清洗设备,用来清洗由分割设备分割得到的板状样品。
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