[发明专利]磁光记录媒体及其制造方法

说明书

本发明涉及一种磁光记录媒体，比如磁光盘、磁光带和磁光卡，其尤其涉及一种能够磁感应超高分辨率再现的磁光记录媒体，以及一种制造磁光记录媒体的方法。

在即将到来的多媒体时代，磁光盘被视为存储大批量数据的主导存储媒体，并希望进一步提高其记录容量。为了提高磁光盘的记录密度，需要使记录标记(recording mark)的长度比激光束的光点直径小，并需要减小记录标记之间的间隔。要形成这样的小记录标记相对而言容易一些。但是，在再现小记录标记的信息时，可再现的记录标记长度受到限制，这是因为再现时所使用的激光束的波长λ以及物镜的数值孔径NA的限制。

因此，已有人提出了用来再现比激光点直径小的记录标记的磁感应超高分辨率(MSR)再现方法。按照该方法，对除使用初始磁场和再现磁场再现的标记以外的标记进行磁掩码。

作为对策，本申请人在公开号为7-244877的日本专利申请(美国专利第5 623 458号)中提出了一种比上述方法有新改进的MSR再现方法。在这种再现方法中，在一个几百奥斯特的再现磁场的作用下，从中温区读取数据，也就是说，在低温区和高温区形成双掩码(doublemask)，从而不使用初始磁体而实现高分辨率的再现。这种再现方法中所使用的磁光盘包括一个再现层、一个中间层和一个稀土-过渡金属合金的记录层。利用通过旋转记录媒体并用再现激光束照射而在激光点范围内形成的温度分布，在低温区形成前掩码(front mask)，在高温区形成后掩码(rear mask)。在所述中温区中，所述记录层的磁化方向被传递到所述再现层。

当在所述磁光盘中探测到磁光输出时，由于在其中形成的所述掩码的原因，不能够从激光点中的低温区和高温区读取磁光信号，而能单从所述中温区读出信号。这样，在本申请人所提出的这种磁光盘中，就能够在再现时应用几百奥斯特的磁场而不使用巨大的初始磁体，从比激光点窄得多的区域中高分辨率地读记录标记。

磁性膜，比如所述再现层、中间层和记录层，是基于所述稀土-过渡金属合金的先已确定的元素组成而溅射形成的。但是，即使要形成的所述磁性膜的元素组成是固定的，当成膜设备的型号和成膜条件发生变化时，所述磁性膜的磁特性也会发生变化。这会导致前文所述的问题，使得不能生产出具有理想的磁特性比如产品所需的波动的，并具有良好的再现性的磁光盘。而且，即使是使用相同的设备在相同的条件下形成所述磁性膜，由于成膜设备中的靶在连续处理大量的磁光盘的过程中会有磨损，所述磁性膜的组成也会发生变化。这也妨碍了制造出具有产品所需各种特性且具有良好再现性的磁光盘。

在当前使用的一种单面记录容量为640MB的磁光盘中，道间距为1.1μm，其中所记录的记录标记的最小标记长度为0.64μm。为了进一步提高记录容量，使得可以在3.5英寸盘的单面记录1.0GB以上的数据，就需要进一步收窄所述道间距，并需要再现更小的记录标记。例如，为了得到1.3GB的记录容量，道间距应当为0.9μm，且应当能够再现长度为0.38μm的最小记录标记。

在上述能够MSR再现的磁光盘中记录1.0GB以上的数据并再现时，所述道间距如此之窄，令所述掩码的形成不稳定，并使得取决于所述记录层、中间层和再现层的磁特性的记录功率的容许波动范围(margin of jitter)也减小。而且，尽管现有的磁光驱动器的最大输出由于减小尺寸和节约能源的考虑而限于约300奥斯特，但在某些情形下，基于所述记录层、中间层和再现层的磁特性，需要有大于300奥斯特的再现磁场。另外，当不断地重复进行高密度数据的记录/再现时，基于所述记录层、中间层和再现层的磁特性的不同，再现信号的品质容易衰减，使用寿命也会降低。

本发明就是要克服传统上存在的前述问题。本发明的一个目的是，通过以饱和磁化强度而不是元素组成来确定所述磁性膜的规格，来提供一种具有理想的磁特性且具有良好的再现性的磁光记录媒体。

本发明的另一个目的是提供一种饱和磁化强度在一预定范围内的磁性膜，或者是一种居里温度在预定范围内的磁性膜，从而提供一种能够磁感应超高分辨率再现以1.0GB以上的高密度记录在3.5英寸盘单面上的数据的磁光记录媒体，再现时，施加不超过300奥斯特的再现磁场，并使记录功率的容许波动范围保持在一个实际可行的水平上。

本发明的再一个目的是提供一种磁光记录媒体，其中的数据以高密度记录，且具有对重复记录/再现的高耐受性。