[发明专利]超硬纳米多层薄膜及其制作工艺无效
| 申请号： | 99124104.5 | 申请日： | 1999-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1117886C | 公开（公告）日： | 2003-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李戈扬;许俊华;金燕苹;戴嘉维;顾明元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C04B41/50 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟,马伟敏 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 多层 薄膜 及其 制作 工艺 | ||
【权利要求书】：
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