[发明专利]具有栅格焊球阵列结构的半导体器件及其制造方法无效
申请号: | 99125420.1 | 申请日: | 1999-12-07 |
公开(公告)号: | CN1256515A | 公开(公告)日: | 2000-06-14 |
发明(设计)人: | 木村直人 | 申请(专利权)人: | 日本电气株式会社 |
主分类号: | H01L23/50 | 分类号: | H01L23/50;H01L23/28;H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 穆德骏,方挺 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 栅格 阵列 结构 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
1.一种具有栅格焊球阵列结构的半导体器件,包括:
半导体芯片;
连接到所述半导体芯片的焊盘上的连接引线,所述连接引线有末端部分,末端部分弯曲到在与所述焊盘相对一侧的所述半导体芯片表面上;
覆盖所述半导体芯片的树脂密封部分;和
设置于所述连接引线的所述末端部分上的焊球。
2.一种具有栅格焊球阵列结构的半导体器件,包括:
半导体芯片;
连接到所述半导体芯片的焊盘上的连接引线,所述连接引线有向后弯曲的末端部分;
覆盖所述半导体芯片的树脂密封部分;和
设置于所述连接引线的所述末端部分上的焊球。
3.一种具有栅格焊球阵列结构的半导体器件,包括:
半导体芯片;
连接到所述半导体芯片的焊盘上的连接引线,所述连接引线有向后弯曲的末端部分;
覆盖所述半导体芯片的树脂密封部分;
设置于所述连接引线的所述末端部分的引线树脂部分;和
设置于所述引线树脂部分上的焊球。
4.按照权利要求1的具有栅格焊球阵列结构的半导体器件,还包括:在与所述树脂密封部分相对的一侧,设置于所述连接引线的所述末端部分上的缓冲件。
5.按照权利要求2的具有栅格焊球阵列结构的半导体器件,还包括:在与所述树脂密封部分相对的一侧,设置于所述连接引线的所述末端部分上的缓冲件。
6.按照权利要求4的具有栅格焊球阵列结构的半导体器件,其中所述缓冲件由从包括硅树脂带、热固性带和热塑性带的组中选出的一种带构成。
7.按照权利要求5的具有栅格焊球阵列结构的半导体器件,其中所述缓冲件由从包括硅树脂带、热固性带和热塑性带的组中选出的一种带构成。
8.一种具有栅格焊球阵列结构的半导体器件的制造方法,包括下列步骤:
连接连接引线与半导体芯片的焊盘;
形成覆盖所述半导体芯片的树脂密封部分;
将所述连接引线切割成预定长度;
向后弯曲所述连接引线的末端部分;和
在所述连接引线的所述末端部分上设置焊球。
9.按照权利要求8的具有栅格焊球阵列结构的半导体器件的制造方法,还包括如下步骤:在切割所述连接引线的步骤之前,在与所述树脂密封部分相对的一侧,在所述连接引线的所述末端部分上设置缓冲件。
10.一种具有栅格焊球阵列结构的半导体器件的制造方法,包括下列步骤:
连接连接引线与半导体芯片的焊盘;
形成覆盖所述半导体芯片的树脂密封部分,和在所述连接引线外的外引线部分形成引线树脂部分;
切割所述连接引线到预定长度;
向后弯曲所述连接引线的末端部分;和
在所述连接引线的所述末端部分上设置焊球。
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