[发明专利]用于光致抗蚀剂的交联单体,及使用其制备光致抗蚀剂聚合物的方法

权利要求书

1.一种用于光致抗蚀剂聚合物的化学式1的交联单体，

<化学式1>其中R′和R″分别为氢或甲基；m是一从1至10的数；及R是选自直链或支链的C₁-C₁₀烷基，直链或支链的C₁-C₁₀酯，直链或支链的C₁-C₁₀酮，直链或支链的C₁-C₁₀羧酸，直链或支链的C₁-C₁₀缩醛，直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀烷基，直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀酯，直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀酮，直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀羧酸，及直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀缩醛。

2.根据权利要求1的交联单体，该交联单体选自化学式2及化学式3的化合物。

<化学式2>

<化学式3>

3.一种光致抗蚀剂共聚物，该共聚物包括两种或多种脂环族烯烃衍生物与根据权利要求1的交联单体的聚合反应产物。

4.根据权利要求3的光致抗蚀剂共聚物，其中所述脂环族烯烃衍生物包括下式化学式4的化合物：

<化学式4>其中k和n分别为1或2；p是0至5的数；R₅和R₆分别代表氢或甲基；R₁，R₂，R₃和R₄分别代表氢，直链或支链的C₁-C₁₀烷基，直链或支链的C₁-C₁₀酯，直链或支链的C₁-C₁₀酮，直链或支链的C₁-C₁₀羧酸，直链或支链的C₁-C₁₀缩醛，直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀烷基，直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀酯，直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀酮，直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀羧酸，及直链或支链的含有至少一个羟基的C₁-C₁₀缩醛。

5.根据权利要求3的光致抗蚀剂共聚物，其中所述聚合产物进一步包括顺丁烯二酸酐的重复单元。