[发明专利]自对准沟道注入无效
| 申请号： | 99127899.2 | 申请日： | 1999-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1156013C | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | H·阿卡特殊;Y·李;J·贝恩特纳 | 申请（专利权）人： | 因芬尼昂技术北美公司;国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L29/76 | 分类号： | H01L29/76 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对准 沟道 注入 | ||
【权利要求书】：
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