[实用新型]使用近红外线光光谱仪改进含浸制程的控制

说明书

本实用新型涉及铜箔基板制造过程中，产品的胶化时间、胶含量以及原料凡立水的胶化时间、环氧官能基含量等检测方法的改良，以提高制程控制及产品品质的稳定性。

在一般铜箔基板制造过程中，有关产品胶化时间、胶含量以及原料凡立水的胶化时间、环氧官能基含量等检测方法的已有技术，如美国专利U.S.Pat.No.5,142,151及No.5,457,319等，其主要技术内容参用以富氏转换红外光谱仪(FTTR)，其利用富氏转换(FourierTransform)取得全光谱及以滤镜扫瞄式红外光谱仪(Dispersive IR)取得特定波长范围光谱，再分析环氧官能基及甲基的含量比，以计算curing程度，并进而藉以计算得知胶化时间(gel time)及胶含量(resincontent)。由于其所使用仪器的光源波长范围、特性及定量计算设定的方法会导致以下四个缺点：

1.玻璃纤维布对红外光的吸收造成光谱图易受影响。

2.分析计算胶化时间及胶含量的动态范围受到限制。

3.无法补偿估计分析的光谱吸收峰受邻近吸收峰的影响程度。

4.所分析的光谱吸收峰范围窄，故维护检量线相对较为困难。而以上这些缺点皆是造成产品胶化时间及胶含量在检测上误差的主要因素。而在铜箔基板的制程中，凡立水的品质(胶化时间及环氧官能基等)影响制程条件甚大，而产品的胶化时间及胶含量是最终产品质量管理的主要内容。

因此，本实用新型的主要目的是提供一种利用近红外光光谱仪的检测装置，而能在生产线上检测铜箔基板原料，并且可适用双官能基(di-function)及四官能基(tetra-function)产品的胶化时间及胶含量，使检测方法一致化，改善常规检测技术对凡立水胶化时间、环氧官能基含量及产品基板胶化时间、胶含量等的检测方法，可大幅提升制程控制及产品品质的稳定性。

以下结合附图详细描述本实用新型。

附图说明：

图1是本实用新型的检测装置配置及流程示意图。

图2是本实用新型的检测组件配置立体示意图。

图中所引用的标号为

(10)玻璃纤维布

(20)凡立水槽

(30)含浸机

(40)近红外线光源

(41)近红外光光谱仪检测器(FT-NIR)

(42)发射器

(43)接收器

(50)电子计算机(Computer)

(60)输出装置