[实用新型]一种双光栅平场谱仪

权利要求书

1.一种双光栅平场谱仪，其特征在于：X射线辐射源(1)经过谱仪的前光阑(2)到达一个曲率半径可变(变化范围500mm-6000mm)的柱面反射镜(3)；此柱面反射镜与1200线/mm的凹面变栅距平场光栅(6)的入射轴成小角度(≤10°)结构；经过柱面反射镜汇聚后的光经过前滤光片(4)和后置光阑(5)到达掠入射凹面变栅距平场光栅后，其一级谱经过后置X射线滤光片(7)被衍射成象到平场面上，则可测波段范围内的光谱被软X射线底片(8)接收；而其反射的零级光再经过1000线/mm的透射式光栅(9)的衍射使波长较长波段的光被分解成光谱，并成象在软X射线底片(8)上。

2.按权利要求1所述的双光栅平场谱仪，其特征还在于：可以取消可变曲率半径的柱面反射镜(3)，而保留透射式光栅(9)。

3.按权利要求1所述的双光栅平场谱仪，其特征还在于：作为接收器的软X射线底片(8)也可以换成CCD探测器，条纹相机或微通道板。

4.按权利要求1所述的双光栅平场谱仪，其特征还在于：透射式光栅(9)可换成高分辨本领的1000线/mm的反射式光栅。

5.按权利要求1所述的双光栅平场谱仪，其特征还在于：1000线/mm的透射式光栅(9)可换成2000线/mm或5000线/mm的透射式光栅。

6.按权利要求1所述的双光栅平场谱仪，其特征还在于：1200线/mm的凹面变栅距平场光栅(6)可换成2400线/mm的凹面变栅距平场光栅。