[实用新型]双向激光输出的二氧化碳气体激光器

说明书

本实用新型是关于利用两面半透半反射镜制成双向输出激光束的二氧化碳激光管。输出的激光束中，功率较大的为主激光束，用于照射、钻孔；功率较小的为辅助激光束，主要用于监测激光功率。该装置可广泛用于制药等需要激光钻孔、照射，并需监测激光功率的领域。

以前的二氧化碳激光管都是单向输出激光，由电极、一全反射镜、一半透半反射镜和充满二氧化碳气体的玻璃管组成(参见U.S.Pat.No.4,088,864，U.S.Patent 5,399,828，CN 87 2 08601 U，CN 91211396，CN94210038)。这对于随时监测激光功率十分不便。

本实用新型利用反向辅助激光束，为同步监测激光功率提供了方便。

本实用新型由石英或玻璃制成的密封管(1)、电极(2)、二氧化碳气体(3)、半透半反射镜(4)和半透半反射镜(5)组成。由于(4)和(5)均可透射激光，因此可实现激光的双向输出。通常将一面半透半反射镜制成高透过率镜，另一面制成微透过率镜。从高透过率镜输出的激光作主激光束，用于照射；从微透过率镜输出的激光作辅助激光束，用于监测激光功率。激光检测可使用热敏传感器或热蚀光传感器。辅助激光束与上激光束的强度比可通过半透镜的镀膜加工工艺进行控制。

与常规的二氧化碳激光管相比，本实用新型的主要特点是利用反向辅助激光束，提供了一种激光功率的同步检测方法。

附图为本装置的结构示意图。

实施例为30瓦二氧化碳激光器。主激光束功率为30瓦，辅助激光束约为0.3瓦。使用热蚀光传感器监测辅助激光束，可较准确地测出激光的衰减。