[实用新型]真空紫外时空分辨光谱仪无效
申请号: | 99246219.3 | 申请日: | 1999-09-29 |
公开(公告)号: | CN2391184Y | 公开(公告)日: | 2000-08-09 |
发明(设计)人: | 林晓东 | 申请(专利权)人: | 深圳大学师范学院 |
主分类号: | G01J3/20 | 分类号: | G01J3/20 |
代理公司: | 深圳市专利服务中心 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 518060 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 紫外 时空 分辨 光谱仪 | ||
1.一种真空紫外时空分辨光谱仪,包括入射狭缝S1、光栅G和出射狭缝S2,其特征是:所述光栅G是柱面光栅,柱面光栅的刻划面为其凹面,入射狭缝S1和出射狭缝S2平行于所述柱面光栅G的母线,多个水平放置的隔板均匀地将入射狭缝S1、光栅G和出射狭缝S2分成多个光路通道。
2.如权利要求1所述的真空紫外时空分辨光谱仪,其特征是:入射狭缝S1、光栅G和出射狭缝S2按罗兰园分布。
3.如权利要求1或2所述的真空紫外时空分辨光谱仪,其特征是:柱面光栅刻槽形状是三角槽形,沿弦等分。
4.如权利要求1或2所述的真空紫外时空分辨光谱仪,其特征是:光谱仪外壳符合真空密封条件,并附带真空抽气系统。
5.如权利要求3所述的真空紫外时空分辨光谱仪,其特征是:光谱仪外壳符合真空密封条件,并附带真空抽气系统。
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