[实用新型]介质分布布拉格反射镜腔面发射微腔激光器无效

专利信息
申请号: 99253155.1 申请日: 1999-11-12
公开(公告)号: CN2422762Y 公开(公告)日: 2001-03-07
发明(设计)人: 宁永强;刘云;刘星元;王立军;武胜利;吴东江;赵家民;潘玉寨;索辉;曹昌盛 申请(专利权)人: 中国科学院长春物理研究所
主分类号: H01S5/00 分类号: H01S5/00
代理公司: 中国科学院长春专利事务所 代理人: 李恩庆
地址: 130021*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 介质 分布 布拉格 反射 镜腔面 发射 激光器
【权利要求书】:

1、一种介质分布布拉格反射镜腔面发射微腔激光器,主要有半导体衬底(8),n+-接触层(7),下电极金属膜(6),半导体分布布拉格反射镜(5),量子阱有源层(4),P+-接触层(3),上电极金属层(2),介质分布布拉格反射镜(1),其特征是量子阱有源层(4)在P+-接触层(3)和半导体分布布拉格反射镜(5)之间,P+-接触层(3)上制有圆环形的上电极金属膜(2),环形内是介质分布布拉格反射镜(1);P+-接触层(3),量子阱有源层(4)和半导体分布布拉格反射镜反射镜形成圆柱形微腔结构;微腔结构置于n+-接触层(7)之上,在n+-接触层(7)上面,圆形微腔结构的周围制有下电极金属膜(6)。

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