[实用新型]悬臂螺杆干式真空泵

说明书

本实用新型涉及真空泵。本泵可广泛地应用于化工、医药、食品、电子、冶炼、电工、陶瓷、造纸、航空模拟、表面科学等多种场合的真空干燥、真空浓缩、真空脱气、真空包装、真空浸渍、真空治炼、真空热处理、真空镀膜、半导体刻蚀等等。

真空泵的种类较多，按照其结构型式和运转方式不同，主要有旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵、水环式真空泵等。上述已有真空泵的泵腔内通常都有工作介质——油或水，这些依靠油或水来密封与润滑泵腔内工作件的泵存在如下缺陷：其一是泵腔内运动的摩擦副容易损坏，可靠性差，常会出现故障；二是需要经常换油、换水，不仅油耗费用大，而且操作、清洗麻烦；三是工作介质会污染被抽气体。对于旋片式、往复式、滑阀式真空泵还存在对粉尘敏感等缺陷。

本实用新型的目的是克服已有技术的缺陷，提供一种在泵腔内真空侧无轴承，整个泵腔干式，无任何工作介质，采用悬臂螺杆结构可方便地增减级数的悬臂螺杆干式真空泵。

本实用新型悬臂螺杆干式真空泵的技术方案是：有一个底座，在底座上安装齿轮箱，齿轮箱的前端联接泵体端盖，泵体端盖与泵体相连，齿轮箱后端联接电机座，电机座与电机相连，电机轴联接泵轴，其所述的泵轴是甲轴和乙轴，甲轴上安装甲齿轮，乙轴上安装乙齿轮，泵体端盖中安装轴承，电机座中安装轴承，各轴承与甲轴和乙轴相配合，在泵体中的甲轴上悬臂安装甲螺杆，在乙轴上悬臂安装乙螺杆，甲螺杆与乙螺杆同步啮合，互不接触。

本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵，其甲、乙螺杆是一级或者二级或者二级以上。

本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵，在甲轴和乙轴上安装轴端压盖。

本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵，在泵体前端安装进气法兰，进气法兰连接进气管。

本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵，其泵体端盖连接排气管组件，排气口在机座中。

本实用新型的悬臂螺杆干式真空泵，在齿轮箱中制有油镜和放油塞。

本实用新型是一种悬臂螺杆干式真空泵，与已有技术相比，具有如下积极效果：一、泵体内两螺杆是悬臂结构，泵腔内真空侧无轴承、无轴封，避免抽吸有腐蚀性的气体或含粉尘气体时对轴承产生腐蚀与磨损，不存在因轴封磨损而影响真空泵性能，运行费用低，工作可靠，维修方便；二、泵腔内干式无任何工作介质，高清洁、无污染，可以回收有用气体，无三废处理；三、泵腔内无接触的摩擦件，整泵的易损件降低到最小量，对粉尘不敏感，使用范围广，寿命长，且能在较恶劣的工况下长时间可靠工作；四、可通过调整螺杆的螺距，增减级数就可使泵的抽气速率、真空度得到改变，满足不同用户的要求；五、代替小环真空泵、往复真空泵、油封旋转真空泵，以及这些泵与罗茨泵、油封扩散泵组成二真空机组。

图1是本实用新型悬臂螺杆干式真空泵结构示意图；

图2是本实用新型悬臂螺杆干式真空泵外型主视图；

图3是本实用新型悬臂螺杆干式真空泵进气端示意图。

下面结合图1-图2对本实用新型的实施例作详细的说明。

1、进气法兰；2、密封垫；3、轴端压盖；4、泵体；5、甲螺杆；6、乙螺杆；7、甲轴；8、乙轴；9、轴封；10、密封圈；11、泵体端盖；12、轴承；13、油镜；14、齿轮箱；15、甲齿轮；16、键；17、乙齿轮；18、密封圈；19、轴承；20、联轴器；21、电机座；22、电机；23、吊环；24、水管接头；25、排气管组件；26、齿轮油；27、放油塞；28、底座；29、排气口；30、进气口。

本实用新型涉及真空泵，特别是涉及一种悬臂螺杆干式真空泵，有一个底座28，在底座28上安装齿轮箱14，齿轮箱14的一头联接泵体端盖11，泵体端盖11与泵体4相连。齿轮箱14的另一头联接电机座21，电机座21与电机22相连，这样构成主体外部结构，泵的内部工作传动关系，由电机轴经联轴器20带动甲轴7，甲轴7上的甲齿轮15带动乙齿轮17，乙齿轮17带动乙轴8，甲轴7和乙轴8所配合的轴承12、19等分别安装在泵体端盖11和电机座21中，在齿轮箱14一侧轴承12呈开放型式。在泵体4内的泵腔中甲轴7上安装甲螺杆5，乙轴8上安装乙螺杆6，两螺杆分别由轴端压盖3相固定，而没有轴承，呈悬臂状，对于泵体端盖11中的轴承12等由轴封9、密封圈10等封住，泵腔中两螺杆互相啮合，完成抽气，没有任何工作介质，所以是螺杆干式抽气。也可以在泵体端盖轴封处加压缩气体，完全防止泵腔内气体进入齿轮箱，污染润滑油而影响齿轮与轴承的正常工作，适合于工况特别恶劣的场合。如果改变甲、乙螺杆5、6的螺距和级数，就会使抽气速率及真空度产生变化。通常甲、乙螺杆是二级或三级或四级等，甚至更多级，如图1所示是三级。泵体内气体过流部分的零件表面可以镀保护层，小零件采用耐腐蚀材料，可方便地制成耐腐蚀型泵。在泵体4的前端安装进气法兰1，进气法兰1的进气口30通进气管。被抽气体经泵体端盖11的排气管组件25、机座28中的排气口29排出。底座中的排气管内可装有消声器，也可以连接冷凝器，回收有用气体，并可以减少排放有害气体。齿轮箱14中灌有齿轮润滑油26，所以安有油镜13，并制有放油孔，安装放油塞27。