[实用新型]单电荷态ECR离子源无效
| 申请号： | 99256174.4 | 申请日： | 1999-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN2440264Y | 公开（公告）日： | 2001-07-25 |
| 发明（设计）人： | 刘占稳;张子民;丁俊章;赵玉彬;雷海亮;曹云;张雪珍;赵红卫;王义芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 中国科学院兰州专利事务所 | 代理人： | 王玉双 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电荷 ecr 离子源 | ||
【权利要求书】：
1、一种单电荷态ECR离子源，包括微波窗(1)、磁铁部分(2)、弧腔(4)、等离子体电极(5)、吸极(6)、绝缘环(7)和法拉第筒(8)；其特征在于所述的磁铁部分(2)为永磁体，在弧腔(4)内设有双层水冷；在微波窗(1)前设有微波产生及传输装置(14)。
2、如权利要求1所述的单电荷态ECR离子源，其特征在于所述的微波产生及传输装置(14)是在激励波导腔(13)上连有磁控管(11)；在激励波导腔(13)一端连有呈锥形的过渡脊波导(9)，在过渡脊波导(9)上设有三销钉调节器(10)；在激励波导腔(13)的另一端设有调节器(12)。
3、如权利要求1所述的单电荷态ECR离子源，其特征在于所述的磁铁部分(2)在微波窗(1)和等离子体电极(5)处的工作磁场应为875高斯或930高斯。
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