[实用新型]容栅角位移传感器

权利要求书

1、一种容栅角位移传感器，它包括主栅和副栅，其特征在于：主、副栅都是圆盘形的；主栅由透射板构成，它是一导电薄片，其上以圆心点为中心开有一条条规则的、均匀分布的辐射状扇形通孔；副栅由发射极板和接收极板构成，它们分别置于主栅的两面，发射面与接收面相对安装；发射极板是在绝缘体基板上涂布以圆心点为中心的、按组分布的一条条辐射状导电栅条，组与组之间有导电体围绕屏蔽，每一栅条均向耦合区域外延伸，有规律扩展并与相应的导电孔连接；接收极板也是在绝缘体基板上涂布有与发射极板面积相应的平板形导电体接收面。

2.根据权利要求1所述的容栅角位移传感器，其特征在于：主栅的透射板也可以是用介电常数合适的绝缘板作载体，在面上涂布导电体成型的薄片。

3.根据权利要求1所述的容栅角位移传感器，其特征在于：副栅的发射极板与接收极板应保持最佳的恒定距离。

4.根据权利要求1所述的容栅角位移传感器，其特征在于：副栅的发射极板上的组间夹角等于主栅透射板上的扇形通孔的相邻夹角，或者该夹角的整数倍。导电栅条与屏蔽体之间的夹角a等于两栅条相邻夹角β。