[发明专利]减小光相干性的方法及其装置,照明方法及其装置,以及束式光纤

权利要求书

1.一种减小光相干性的方法，其特征在于，相干光入射到包含长度差超过此相干光的相干长度的、长度相互不同的多根光纤的光纤群，

从此光纤群集合成束的光射出侧光纤束部分射出相干性减小的光。

2.如权利要求1中所述的减小光相干性的方法，其特征在于使上述光纤群的入射位置在各光纤之间相同或几乎相同。

3.如权利要求2中所述的减小光相干性的方法，其特征在于上述光纤群在光入射位置集合成束。

4.如权利要求1中所述的减小光相干性的方法，其特征在于通过将上述多根光纤的任何一根进行弯曲而使这些光纤的长度相互不同。

5.如权利要求1中所述的减小光相干性的方法，其特征在于采用多模光纤作为上述光纤。

6.如权利要求1中所述的减小光相干性的方法，其特征在于上述相干光是可见波长范围的激光。

7.如权利要求1中所述的减小光相干性的方法，其特征在于利用中空多模光纤作为上述光纤，并且上述相干光是紫外范围的激光。

8.一种减小光相干性的装置，其特征在于，此装置具有使相干光入射于其上的、包含长度差超过此相干光的相干长度的长度相互不同的多根光纤的光纤群，

相干性减小的光从上述光纤群集合成束的光射出侧的束式光纤部分射出。

9.如权利要求8中所述的减小光相干性的装置，其特征在于使上述光纤群的入射位置在各光纤之间相同或几乎相同。

10.如权利要求9中所述的减小光相干性的装置，其特征在于上述光纤群在光入射位置集合成束。

11.如权利要求8中所述的减小光相干性的装置，其特征在于通过将上述多根光纤的任何一根进行弯曲而使这些光纤的长度相互不同。

12.如权利要求8中所述的减小光相干性的装置，其特征在于采用多模光纤作为上述光纤。

13.如权利要求8中所述的减小光相干性的装置，其特征在于上述相干光是可见波长范围的激光。

14.如权利要求8中所述的减小光相干性的装置，其特征在于利用中空多模光纤作为上述光纤，并且上述相干光是紫外范围的激光。

15.一种照明方法，其特征在于，使光源射出的相干光入射到包含长度差超过此相干光的相干长度的、长度相互不同的多根光纤的光纤群，

从此光纤群集合成束的光射出侧的束式光纤部分射出相干性减小的光作为照明光。

16.如权利要求15中所述的照明方法，其特征在于使上述光纤群的入射位置在各光纤之间相同或几乎相同。

17.如权利要求16中所述的照明方法，其特征在于上述光纤群在光入射位置集合成束。

18.如权利要求15中所述的照明方法，其特征在于通过将上述多根光纤的任何一根进行弯曲而使这些光纤的长度相互不同。

19.如权利要求15中所述的照明方法，其特征在于采用多模光纤作为上述光纤。

20.如权利要求15中所述的照明方法，其特征在于上述相干光是可见波长范围的激光。

21.如权利要求15中所述的照明方法，其特征在于利用中空多模光纤作为上述光纤，并且上述相干光是紫外范围的激光。

22.如权利要求15中所述的照明方法，其特征在于将上述照明光用作显示装置、计测装置、显微镜或曝光装置的光源。

23.一种照明装置，其特征在于，此装置具有射出相干光的光源部分，以及

包含长度差超过此相干光的相干长度的、长度相互不同的多根光纤的光纤群，

从上述光纤群集合成束的光射出侧的束式光纤部分射出相干性减小的光作为照明光。

24.如权利要求23中所述的照明装置，其特征在于使上述光纤群的入射位置在各光纤之间相同或几乎相同。

25.如权利要求24中所述的照明装置，其特征在于上述光纤群在光入射位置集合成束。